Свакуумное напылениеОборудование, работающее в вакуумных условиях, должно соответствовать требованиям вакуумной среды. В разработанных в нашей стране отраслевых стандартах для различных типов вакуумного оборудования для нанесения покрытий (включая общие технические условия для вакуумного оборудования для нанесения покрытий, вакуумного ионного оборудования для нанесения покрытий, вакуумного магнетронного распыления и вакуумного испарительного оборудования для нанесения покрытий) четко установлены экологические требования. Только при соблюдении экологических требований к вакуумному оборудованию для нанесения покрытий, оно может нормально функционировать, а при правильном процессе нанесения покрытий можно производить качественную продукцию.
Требования к вакуумной среде, как правило, включают в себя требования к вакуумному оборудованию в отношении окружающей среды, такие как температура в лаборатории (или мастерской), низкая плотность воздуха, а также требования к деталям или поверхностям, находящимся в вакуумном состоянии или в вакууме. Эти два аспекта тесно взаимосвязаны. Качество окружающей среды напрямую влияет на нормальную работу вакуумного оборудования, а чистота вакуумной камеры или загруженных в нее деталей напрямую влияет на производительность оборудования. Если воздух содержит много водяного пара и пыли, а вакуумная камера не очищена, трудно достичь желаемой степени вакуума, используя для откачки воздуха механический насос с масляным уплотнением. Как известно, механические насосы с масляным уплотнением не подходят для откачки газов, которые вызывают коррозию металлов, химически реагируют с вакуумным маслом и содержат твердые частицы пыли. Водяной пар — это конденсируемый газ. Когда насос откачивает большое количество конденсируемого газа, загрязнение насосного масла становится более серьезным. В результате предельное разрежение насоса упадет, и его производительность будет снижена.
Нормальные условия работы оборудования для вакуумного напыления следующие:
① Температура окружающей среды 10–30℃;
② Относительная влажность не превышает 70%;
③ Температура охлаждающей воды на входе не превышает 25 °C;
④ Качество охлаждающей воды: водопроводная вода или вода эквивалентного качества;
⑤ Напряжение питания: 380 В, трехфазное 50 Гц или 220 В, однофазное 50 Гц (в зависимости от потребностей используемых электроприборов), диапазон колебаний напряжения 342–399 В или 198–231 В, диапазон колебаний частоты 49–51 Гц;
⑥Давление, температура и расход должны быть указаны в инструкции по эксплуатации изделия;
⑦ Окружающая среда вокруг оборудования должна быть чистой, воздух должен быть чистым, и не должно быть пыли или газов, которые могут вызвать коррозию поверхности электроприборов и других металлических деталей или вызвать электропроводность между металлами.
Кроме того, лаборатория или мастерская, где находится оборудование для вакуумного напыления, должна содержаться в чистоте и гигиене. Пол должен быть из терраццо или окрашенного дерева, без пыли. Для предотвращения загрязнения лабораторной среды газом, выходящим из механического насоса, можно использовать выпускной патрубок насоса. На поверхности следует установить выхлопную трубу (металлическую, резиновую) для отвода газа наружу.
Дата публикации: 17 марта 2023 г.