Các yêu cầu về môi trường đối với thiết bị phủ chân không

Từthiết bị phủ chân khôngDo hoạt động trong điều kiện chân không, thiết bị phải đáp ứng các yêu cầu về môi trường chân không. Các tiêu chuẩn công nghiệp đối với các loại thiết bị phủ chân không khác nhau được xây dựng ở nước ta (bao gồm điều kiện kỹ thuật chung cho thiết bị phủ chân không, thiết bị phủ ion chân không, thiết bị phủ chân không bằng phương pháp phún xạ và thiết bị phủ chân không bằng phương pháp bay hơi) đã quy định rõ ràng các yêu cầu về môi trường. Chỉ khi đáp ứng các yêu cầu về môi trường của thiết bị phủ chân không, thiết bị mới có thể hoạt động bình thường và với quy trình phủ chính xác, mới có thể sản xuất ra các sản phẩm phủ đạt tiêu chuẩn.

Các yêu cầu về môi trường chân không nói chung bao gồm các yêu cầu đối với thiết bị chân không về môi trường xung quanh, chẳng hạn như nhiệt độ của phòng thí nghiệm (hoặc xưởng), độ ẩm không khí thấp, và các yêu cầu đối với các bộ phận hoặc bề mặt trong trạng thái chân không hoặc trong môi trường chân không. Hai khía cạnh này có mối liên hệ chặt chẽ. Chất lượng của môi trường xung quanh ảnh hưởng trực tiếp đến việc sử dụng bình thường của thiết bị chân không, và việc buồng chân không của thiết bị chân không hoặc các bộ phận được đặt bên trong có được làm sạch hay không ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị. Nếu không khí chứa nhiều hơi nước và bụi, và buồng chân không chưa được làm sạch, sẽ khó đạt được độ chân không mong muốn khi sử dụng bơm cơ khí kín dầu để bơm không khí. Như chúng ta đã biết, bơm cơ khí kín dầu không thích hợp để bơm các loại khí ăn mòn kim loại, phản ứng hóa học với dầu chân không và chứa bụi dạng hạt. Hơi nước là một loại khí có thể ngưng tụ. Khi bơm hút một lượng lớn khí có thể ngưng tụ, sự ô nhiễm dầu bơm sẽ nghiêm trọng hơn. Kết quả là, độ chân không cuối cùng của bơm sẽ giảm và hiệu suất bơm của bơm sẽ bị suy giảm.

Điều kiện làm việc bình thường của thiết bị phủ chân không là:

① Nhiệt độ môi trường xung quanh 10~30℃;

② Độ ẩm tương đối không quá 70%;

③ Nhiệt độ nước làm mát đầu vào không cao hơn 25°C;

④ Chất lượng nước làm mát: Nước máy thành phố hoặc nước có chất lượng tương đương;

⑤Điện áp nguồn: 380V, ba pha 50Hz hoặc 220V, một pha 50Hz (tùy thuộc vào nhu cầu của các thiết bị điện sử dụng), phạm vi dao động điện áp 342~399V hoặc 198~231V, phạm vi dao động tần số 49~51Hz;

⑥Áp suất, nhiệt độ và mức tiêu thụ phải được ghi rõ trong sách hướng dẫn sử dụng sản phẩm;

⑦ Môi trường xung quanh thiết bị phải sạch sẽ và không khí trong lành, không được có bụi hoặc khí có thể gây ăn mòn bề mặt các thiết bị điện và các bộ phận kim loại khác hoặc gây dẫn điện giữa các kim loại.

Ngoài ra, phòng thí nghiệm hoặc xưởng nơi đặt thiết bị phủ chân không cần được giữ sạch sẽ và hợp vệ sinh. Sàn nhà nên là sàn đá mài hoặc sàn gỗ sơn, không bám bụi. Để ngăn khí thải từ bơm cơ khí làm ô nhiễm môi trường phòng thí nghiệm, có thể sử dụng ống xả (ống kim loại hoặc ống cao su) trên bề mặt cửa xả của bơm để dẫn khí ra ngoài.