SeitVakuumbeschichtungsanlageDa die Anlagen unter Vakuum arbeiten, müssen sie die entsprechenden Umweltanforderungen erfüllen. Die in meinem Land geltenden Industrienormen für verschiedene Arten von Vakuumbeschichtungsanlagen (einschließlich allgemeiner technischer Bedingungen für Vakuumbeschichtungsanlagen, Vakuum-Ionenbeschichtungsanlagen, Vakuum-Sputterbeschichtungsanlagen und Vakuum-Aufdampfbeschichtungsanlagen) legen die Umweltanforderungen klar fest. Nur wenn diese Umweltanforderungen erfüllt werden, kann die Anlage ordnungsgemäß funktionieren und bei korrektem Beschichtungsprozess können qualifizierte Beschichtungsprodukte hergestellt werden.
Die Anforderungen an die Vakuumumgebung umfassen im Allgemeinen die Anforderungen an die Vakuumanlage an die Umgebungsbedingungen, wie z. B. die Temperatur im Labor (oder in der Werkstatt), die geringe Luftreinheit und die Anforderungen an Teile oder Oberflächen im Vakuumzustand. Diese beiden Aspekte hängen eng zusammen. Die Qualität der Umgebung beeinflusst direkt die ordnungsgemäße Funktion der Vakuumanlage, und die Sauberkeit der Vakuumkammer bzw. der darin befindlichen Teile wirkt sich unmittelbar auf die Leistung der Anlage aus. Enthält die Luft viel Wasserdampf und Staub und ist die Vakuumkammer nicht gereinigt, lässt sich mit einer ölgedichteten mechanischen Pumpe nur schwer der gewünschte Vakuumgrad erreichen. Ölgedichtete mechanische Pumpen sind bekanntermaßen ungeeignet für das Pumpen von Gasen, die metallkorrosiv sind, mit Vakuumöl chemisch reagieren oder Feinstaub enthalten. Wasserdampf ist ein kondensierbares Gas. Fördert die Pumpe große Mengen kondensierbarer Gase, führt dies zu einer stärkeren Verschmutzung des Pumpenöls. Infolgedessen sinkt das Endvakuum der Pumpe und die Pumpleistung der Pumpe wird beeinträchtigt.
Die normalen Betriebsbedingungen von Vakuumbeschichtungsanlagen sind:
① Umgebungstemperatur 10~30℃;
② Die relative Luftfeuchtigkeit beträgt nicht mehr als 70 %.
③ Die Kühlwassereintrittstemperatur beträgt nicht mehr als 25°C;
④ Qualität des Kühlwassers: Leitungswasser der Stadt oder Wasser von gleichwertiger Qualität;
⑤Netzspannung: 380 V, dreiphasig 50 Hz oder 220 V, einphasig 50 Hz (je nach Bedarf der verwendeten elektrischen Geräte), Spannungsschwankungsbereich 342~399 V oder 198~231 V, Frequenzschwankungsbereich 49~51 Hz;
⑥Druck, Temperatur und Verbrauch sollten in der Bedienungsanleitung des Produkts angegeben werden;
⑦ Die Umgebung des Geräts und die Luft sind sauber. Es dürfen keine Stäube oder Gase vorhanden sein, die Oberflächenkorrosion an elektrischen Geräten und anderen Metallteilen oder elektrische Leitfähigkeit zwischen Metallen verursachen könnten.
Darüber hinaus muss der Raum, in dem sich die Vakuumbeschichtungsanlage befindet, sauber und hygienisch sein. Der Boden sollte aus Terrazzo oder lackiertem Holz bestehen und staubfrei sein. Um zu verhindern, dass die von der mechanischen Pumpe ausgestoßenen Gase die Laborumgebung verunreinigen, kann am Auslass der Pumpe ein Abgasrohr (Metall- oder Gummischlauch) installiert werden, um die Gase nach außen abzuleiten.
Veröffentlichungsdatum: 17. März 2023