Exigences environnementales pour les équipements de revêtement sous vide

Depuiséquipement de revêtement sous videFonctionnant sous vide, l'équipement doit répondre aux exigences environnementales liées à ce procédé. Les normes industrielles relatives aux différents types d'équipements de revêtement sous vide, élaborées en Chine (notamment les spécifications techniques générales, les spécifications ioniques, les spécifications par pulvérisation cathodique et les spécifications par évaporation sous vide), définissent clairement ces exigences environnementales. Seule la conformité à ces exigences permet un fonctionnement normal de l'équipement et, grâce à un procédé de revêtement approprié, la production de revêtements conformes aux normes.

Les exigences relatives à l'environnement sous vide comprennent généralement les exigences de l'équipement de vide concernant cet environnement, telles que la température du laboratoire (ou de l'atelier), la faible pression atmosphérique et les exigences relatives aux pièces ou surfaces sous vide. Ces deux aspects sont étroitement liés. La qualité de l'environnement influe directement sur le bon fonctionnement de l'équipement de vide, et la propreté de la chambre à vide et des pièces qu'elle contient a un impact direct sur ses performances. Si l'air contient beaucoup de vapeur d'eau et de poussière, et que la chambre à vide n'a pas été nettoyée, il est difficile d'atteindre le niveau de vide souhaité avec une pompe mécanique lubrifiée. Or, comme chacun sait, les pompes mécaniques lubrifiées ne conviennent pas au pompage de gaz corrosifs pour les métaux, chimiquement réactifs à l'huile de la pompe ou contenant des particules. La vapeur d'eau étant un gaz condensable, le refoulement d'une grande quantité de ce gaz par la pompe entraîne une pollution importante de l'huile. Par conséquent, le vide limite de la pompe diminuera et les performances de pompage de la pompe seront anéanties.

Les conditions normales de fonctionnement des équipements de revêtement sous vide sont les suivantes :

① Température ambiante 10~30℃ ;

② L’humidité relative ne dépasse pas 70 % ;

③ La température d'entrée de l'eau de refroidissement ne dépasse pas 25°C ;

④ Qualité de l'eau de refroidissement Eau du robinet de la ville ou eau de qualité équivalente ;

⑤Tension d'alimentation : 380 V, triphasé 50 Hz ou 220 V, monophasé 50 Hz (selon les besoins des appareils électriques utilisés), plage de fluctuation de tension 342~399 V ou 198~231 V, plage de fluctuation de fréquence 49~51 Hz ;

⑥ La pression, la température et la consommation doivent être indiquées dans le manuel d'instructions du produit ;

⑦ L'environnement autour de l'équipement est propre et l'air est propre, et il ne doit y avoir ni poussière ni gaz susceptibles de provoquer la corrosion superficielle des appareils électriques et autres pièces métalliques ou de provoquer une conduction électrique entre les métaux.

De plus, le laboratoire ou l'atelier où se trouve l'équipement de revêtement sous vide doit être maintenu propre et hygiénique. Le sol, en terrazzo ou en parquet peint, doit être exempt de poussière. Afin d'éviter que les gaz rejetés par la pompe mécanique ne polluent l'environnement du laboratoire, un tuyau d'évacuation (métallique ou en caoutchouc) peut être installé au niveau de l'orifice d'échappement de la pompe pour évacuer les gaz vers l'extérieur.