Milieu-eisen voor vacuümcoatingapparatuur

SindsvacuümcoatingapparatuurOmdat de apparatuur onder vacuümomstandigheden werkt, moet deze voldoen aan de eisen die aan een vacuümomgeving worden gesteld. De industrienormen voor diverse soorten vacuümcoatingapparatuur in mijn land (waaronder algemene technische voorwaarden voor vacuümcoatingapparatuur, vacuüm-ionencoatingapparatuur, vacuüm-sputtercoatingapparatuur en vacuüm-verdampingscoatingapparatuur) bevatten duidelijke milieueisen. Alleen door te voldoen aan de milieueisen kan de vacuümcoatingapparatuur normaal functioneren en kunnen, met het juiste coatingproces, gekwalificeerde coatingproducten worden geproduceerd.

De eisen die aan een vacuümomgeving worden gesteld, omvatten over het algemeen de eisen die de vacuümapparatuur stelt aan de omgevingsomstandigheden, zoals de temperatuur van het laboratorium (of de werkplaats), de luchtvochtigheid en de eisen die aan onderdelen of oppervlakken in een vacuümtoestand worden gesteld. Deze twee aspecten zijn nauw met elkaar verbonden. De kwaliteit van de omgevingslucht heeft direct invloed op het normale gebruik van de vacuümapparatuur, en of de vacuümkamer van de vacuümapparatuur of de daarin geplaatste onderdelen gereinigd zijn, heeft direct invloed op de prestaties van de apparatuur. Als de lucht veel waterdamp en stof bevat en de vacuümkamer niet gereinigd is, is het moeilijk om de gewenste vacuümgraad te bereiken met een oliegesmeerde mechanische pomp. Zoals bekend zijn oliegesmeerde mechanische pompen niet geschikt voor het verpompen van gassen die corrosief zijn voor metalen, chemisch reageren met vacuümolie en fijnstof bevatten. Waterdamp is een condenseerbaar gas. Wanneer de pomp een grote hoeveelheid condenseerbaar gas verpompt, zal de vervuiling van de pompolie ernstiger worden. Als gevolg hiervan zal het uiteindelijke vacuüm van de pomp afnemen en zullen de pompprestaties verslechteren.

De normale bedrijfsomstandigheden van vacuümcoatingapparatuur zijn:

① Omgevingstemperatuur 10~30℃;

② De relatieve luchtvochtigheid is niet hoger dan 70%;

③ De temperatuur van het inlaatkoelwater is niet hoger dan 25 °C;

④ Kwaliteit van het koelwater: stadskraanwater of water van gelijkwaardige kwaliteit;

⑤Voedingsspanning: 380V, driefase 50Hz of 220V, eenfase 50Hz (afhankelijk van de behoeften van de gebruikte elektrische apparaten), spanningsschommelingsbereik 342~399V of 198~231V, frequentieschommelingsbereik 49~51Hz;

⑥De druk, temperatuur en het verbruik moeten in de producthandleiding vermeld staan;

⑦ De omgeving rond de apparatuur is schoon en de lucht is schoon. Er mag geen stof of gas aanwezig zijn dat oppervlaktecorrosie van elektrische apparaten en andere metalen onderdelen kan veroorzaken of elektrische geleiding tussen metalen kan teweegbrengen.

Daarnaast moet het laboratorium of de werkplaats waar de vacuümcoatingapparatuur zich bevindt, schoon en hygiënisch zijn. De vloer moet van terrazzo of geverfd hout zijn en stofvrij. Om te voorkomen dat de gassen die door de mechanische pomp worden afgevoerd de laboratoriumomgeving vervuilen, kan bij de uitlaat van de pomp een afvoerpijp (van metaal of rubber) worden aangebracht om de gassen naar buiten af ​​te voeren.