真空コーティング装置の環境要件

以来真空コーティング装置真空下で作業を行う場合、装置は真空環境の要件を満たす必要があります。我が国で制定された各種真空コーティング装置の業界標準（真空コーティング装置、真空イオンコーティング装置、真空スパッタリングコーティング装置、真空蒸着コーティング装置の一般技術条件を含む）には、環境要件が明確に規定されています。真空コーティング装置の環境要件を満たすことによってのみ、装置は正常に動作し、適切なコーティングプロセスによって、適切なコーティング製品を生産することができます。

真空環境の要件には、一般的に、実験室（または作業場）の温度、空気中のわずかな利益、真空状態または真空中の部品または表面に対する要件など、真空装置の周囲環境に対する要件が含まれます。これら2つの側面は密接に関連しています。周囲環境の品質は真空装置の正常な使用に直接影響し、真空装置の真空チャンバーまたはそこに搭載された部品が清掃されているかどうかは、装置の性能に直接影響します。空気中に大量の水蒸気と塵埃が含まれており、真空チャンバーが清掃されていない場合、油封機械ポンプを使用して空気をポンプしても、所望の真空度を達成することは困難です。周知のとおり、油封機械ポンプは、金属腐食性、真空油と化学反応性、および粒子状塵埃を含むガスのポンプには適していません。水蒸気は凝縮性ガスです。ポンプが大量の凝縮性ガスをポンプで排出すると、ポンプオイルの汚染はより深刻になります。その結果、ポンプの到達真空度が低下し、ポンプの排気性能が損なわれます。

真空コーティング装置の通常の動作条件は次のとおりです。

① 周囲温度10～30℃

②相対湿度が70％以下であること。

③冷却水入口温度は25℃以下である。

④ 冷却水の水質 水道水または同等の水質のもの

⑤電源電圧：380V、三相50Hzまたは220V、単相50Hz（使用する電気機器のニーズに応じて）、電圧変動範囲342〜399Vまたは198〜231V、周波数変動範囲49〜51Hz。

⑥圧力、温度、消費量は製品の取扱説明書に記載されている必要があります。

⑦機器周辺の環境は清浄であり、空気が清浄であり、電気機器等の金属部分の表面腐食や金属間の導通の原因となる粉塵やガス等が存在しないこと。

さらに、真空コーティング装置が設置されている実験室または作業場は、清潔で衛生的に保つ必要があります。床はテラゾーまたは木製の塗装床とし、埃のない状態にしてください。機械式ポンプから排出されるガスが実験室環境を汚染するのを防ぐため、ポンプの排気口に排気管（金属管、ゴム管）を設置し、ガスを外部に排出します。