光学薄膜の特性評価

光学薄膜の特性評価には、光学特性、光学パラメータ、非光学特性の評価が含まれ、光学特性とは主に光学薄膜の分光反射率、透過率、および光学損失（吸収損失と反射損失）特性を指します。透過率と反射率は光学薄膜の最も基本的な光学特性であるため、薄膜の透過率と反射率の試験は光学薄膜の基本的な試験技術です。光学薄膜の光学パラメータには、光学薄膜の屈折率、吸収係数、膜厚などがあります。実際のプロセスで製造される光学薄膜は、材料成分の化学量論的偏差により、構造が均質で緻密ではなくなり、微細構造やさまざまな欠陥が生じ、誘電体層が完全に透明ではなくなり、弱い吸収が生じ、膜の屈折率に空間的な不均一性と位相異方性が生じ、膜が無限に滑らかな界面でなくなります。さらに重要なのは、実際の製造プロセスにおいて、フィルム製造プロセスのパラメータがフィルムの光学パラメータに非常に大きな影響を与えるため、フィルムの光学パラメータをリアルタイムで確認することが非常に重要であるということです。また、光学薄膜は実際の環境で使用されるデバイスであるため、デバイスの光学特性が要求を満たす必要があるだけでなく、フィルムの接着力、フィルムの応力、フィルムの硬度や表面粗さ、フィルムの環境耐性など、フィルムの使用に影響を与える重要な非光学特性が数多くあります。したがって、薄膜デバイスの使用に影響を与えるさまざまなパラメータや特性をすべて正確に測定することが重要です。

薄膜の透過率と反射率は、主に分光分析装置を用いて試験されます。光学フィルム試験用の分光分析装置は、試験波長帯の違いにより、UV-Vis分光光度計、赤外分光光度計、赤外フーリエ分光計に分けられます。前者2つは分光分析原理に基づく分析試験システムであり、後者は干渉分光分析システムの原理に基づいています。薄膜デバイスの幾何学的構造や形状はそれぞれ異なるため、透過率と反射率の測定は同一であっても、形状、精度、偏光要件が異なる場合は、異なる試験方法と技術が必要になる場合があります。

–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華