Karakterisasi film tipis optik meliputi karakterisasi sifat optik, parameter optik, dan sifat non-optik. Sifat optik terutama mengacu pada reflektansi spektral, transmitansi, dan kehilangan optik (kehilangan absorpsi dan kehilangan refleksi) dari film tipis optik. Transmitansi dan reflektansi adalah sifat optik paling dasar dari film tipis optik, sehingga pengujian transmitansi dan reflektansi film tipis merupakan teknik pengujian dasar untuk film tipis optik. Parameter optik film tipis optik meliputi indeks bias, koefisien absorpsi, dan ketebalan film tipis optik. Karena penyimpangan stoikiometri dalam komponen material film tipis optik yang dibuat melalui proses aktual, strukturnya tidak lagi homogen dan padat, tetapi terdapat mikrostruktur dan berbagai cacat, lapisan film dielektrik tidak lagi sepenuhnya transparan, dan terdapat absorpsi yang lemah, sementara terdapat ketidakseragaman spasial dan anisotropi fase dalam indeks bias film, dan film tersebut tidak lagi memiliki antarmuka yang tak terbatas dan halus. Yang lebih penting lagi, dalam proses persiapan sebenarnya, parameter proses persiapan film memiliki dampak yang sangat besar pada parameter optik film, sehingga konfirmasi parameter optik film secara real-time sangat penting. Selain itu, film tipis optik sebagai perangkat yang digunakan di lingkungan nyata, selain karakteristik optik perangkat yang perlu memenuhi persyaratan, film tersebut juga memiliki banyak karakteristik non-optik penting lainnya yang memengaruhi penggunaan film, seperti daya rekat film, tegangan film, kekerasan film, kekasaran permukaan, dan kemampuan film untuk menahan lingkungan, dan sebagainya. Oleh karena itu, penting untuk mengukur secara akurat semua berbagai parameter atau karakteristik yang memengaruhi penggunaan perangkat film tipis.
Transmisi dan refleksi film tipis terutama diuji menggunakan penganalisis uji spektral. Penganalisis spektral untuk pengujian film optik dapat dibagi menjadi spektrofotometer UV-Vis, spektrofotometer inframerah, dan spektrometer Fourier inframerah sesuai dengan pita uji yang berbeda. Dua yang pertama menggunakan prinsip spektroskopi spektral untuk sistem analisis dan pengujian, sedangkan yang terakhir didasarkan pada prinsip sistem analisis spektral interferensi. Karena struktur dan bentuk geometris perangkat film tipis yang berbeda, meskipun semua pengukuran transmisi dan refleksi sama, namun untuk bentuk yang berbeda, presisi yang berbeda, atau persyaratan polarisasi yang berbeda, mungkin memerlukan metode dan teknik pengujian yang berbeda.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 03-Nov-2023