Оптикалық жұқа пленканың сипаттамасына оптикалық қасиеттердің, оптикалық параметрлердің және оптикалық емес қасиеттердің сипаттамасы кіреді, оптикалық қасиеттер негізінен оптикалық жұқа пленканың спектрлік шағылысу, өткізгіштік және оптикалық жоғалту (сіңіру жоғалтуы және шағылысу жоғалтуы) қасиеттеріне жатады. Өткізгіштік және шағылысу оптикалық жұқа пленкалардың ең негізгі оптикалық қасиеттері болып табылады, сондықтан жұқа пленканың өткізгіштігі мен шағылысуын сынау оптикалық жұқа пленкаларды сынаудың негізгі әдісі болып табылады. Оптикалық жұқа пленканың оптикалық параметрлеріне сыну көрсеткіші, сіңіру коэффициенті және оптикалық жұқа пленканың қалыңдығы кіреді. Нақты процесс арқылы дайындалған оптикалық жұқа пленканың материалдық компоненттеріндегі стехиометриялық ауытқуға байланысты құрылым енді біртекті және тығыз емес, бірақ микроқұрылымдар мен әртүрлі ақаулар бар, диэлектрлік пленка қабаты енді толығымен мөлдір емес және әлсіз сіңіру бар, ал пленканың сыну көрсеткішінде кеңістіктік біркелкі еместік және фазалық анизотропия бар, ал пленка енді шексіз және тегіс интерфейс емес. Ең бастысы, нақты дайындау процесінде пленканы дайындау процесінің параметрлері пленканың оптикалық параметрлеріне өте үлкен әсер етеді, сондықтан пленканың оптикалық параметрлерін нақты уақыт режимінде растау өте маңызды. Сонымен қатар, оптикалық жұқа пленка нақты ортада қолданылатын құрылғы ретінде, құрылғының оптикалық сипаттамаларынан басқа, талаптарға сай болуы керек, пленканың пленкаға адгезия, пленка кернеуі, пленканың қаттылығы мен бетінің кедір-бұдырлығы және пленканың қоршаған ортаға төтеп беру қабілеті және т.б. сияқты басқа да маңызды оптикалық емес сипаттамалары бар. Сондықтан жұқа пленкалы құрылғыларды пайдалануға әсер ететін барлық әртүрлі параметрлерді немесе сипаттамаларды дәл өлшеу маңызды.
Жұқа қабықшалардың өткізгіштігі мен шағылысу қабілеті негізінен спектрлік сынақ анализаторларын қолдану арқылы тексеріледі. Оптикалық қабықшаларды сынауға арналған спектрлік анализаторларды әртүрлі сынақ жолақтарына сәйкес УК-Вис спектрофотометрлеріне, инфрақызыл спектрофотометрлеріне және инфрақызыл Фурье спектрометрлеріне бөлуге болады. Алғашқы екеуінде талдау және сынау жүйесінің спектрлік спектроскопия принципі қолданылады, соңғысы интерференциялық спектрлік талдау жүйесінің принципіне негізделген. Жұқа қабықшалы құрылғылардың геометриялық құрылымдары мен пішіндерінің әртүрлі болуына байланысты, барлық өткізгіштік және шағылысу өлшемдері әртүрлі болғанымен, әртүрлі пішіндер, әртүрлі дәлдік немесе әртүрлі поляризация талаптары үшін әртүрлі сынақ әдістері мен әдістері қажет болуы мүмкін.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 3 қараша