De karakterisering van optische dunne films omvat de karakterisering van optische eigenschappen, optische parameters en niet-optische eigenschappen. De optische eigenschappen hebben voornamelijk betrekking op de spectrale reflectie, transmissie en optische verliezen (absorptieverlies en reflectieverlies) van de optische dunne film. Transmissie en reflectie zijn de meest fundamentele optische eigenschappen van optische dunne films, waardoor het testen van de transmissie en reflectie van dunne films de basistesttechniek voor optische dunne films is. Optische parameters van optische dunne films omvatten de brekingsindex, de absorptiecoëfficiënt en de filmdikte. Door de stoichiometrische afwijking in de materiaalsamenstelling van de optische dunne film die tijdens het productieproces wordt vervaardigd, is de structuur niet langer homogeen en dicht, maar bevat deze microstructuren en diverse defecten. De diëlektrische filmlaag is niet langer volledig transparant en vertoont een zwakke absorptie. Bovendien is er sprake van ruimtelijke niet-uniformiteit en fase-anisotropie in de brekingsindex van de film, waardoor de film geen oneindig en glad grensvlak meer heeft. Belangrijker nog is dat de parameters van het daadwerkelijke bereidingsproces van de film een zeer grote invloed hebben op de optische eigenschappen van de film. Daarom is realtime controle van deze optische eigenschappen cruciaal. Bovendien moet een optische dunne film, als onderdeel van een apparaat dat in de praktijk wordt gebruikt, naast de optische eigenschappen ook voldoen aan diverse andere belangrijke niet-optische kenmerken die het gebruik ervan beïnvloeden, zoals hechting, spanning, hardheid, oppervlakteruwheid en omgevingsbestendigheid. Het is daarom van groot belang om al deze verschillende parameters en eigenschappen die van invloed zijn op het gebruik van dunnefilmapparaten nauwkeurig te meten.
De transmissie en reflectie van dunne films worden hoofdzakelijk getest met behulp van spectrale testanalysatoren. Spectrale analysatoren voor het testen van optische films kunnen, afhankelijk van de verschillende testbanden, worden onderverdeeld in UV-Vis-spectrofotometers, infraroodspectrofotometers en infrarood-Fourierspectrometers. De eerste twee maken gebruik van het principe van spectrale spectroscopie voor analyse en testen, de laatste is gebaseerd op het principe van interferentiespectrale analyse. Vanwege de verschillende geometrische structuren en vormen van dunnefilmapparaten, hoewel alle transmissie- en reflectiemetingen mogelijk zijn, kunnen voor verschillende vormen, precisie-eisen of polarisatie-eisen verschillende testmethoden en -technieken nodig zijn.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 3 november 2023