การวิเคราะห์คุณสมบัติของฟิล์มบางทางแสงนั้นรวมถึงการวิเคราะห์คุณสมบัติทางแสง พารามิเตอร์ทางแสง และคุณสมบัติที่ไม่ใช่ทางแสง โดยคุณสมบัติทางแสงส่วนใหญ่หมายถึงค่าการสะท้อนแสง การส่งผ่านแสง และการสูญเสียแสง (การสูญเสียจากการดูดกลืนและการสูญเสียจากการสะท้อน) ของฟิล์มบางทางแสง การส่งผ่านแสงและการสะท้อนแสงเป็นคุณสมบัติทางแสงพื้นฐานที่สุดของฟิล์มบางทางแสง ดังนั้นการทดสอบการส่งผ่านแสงและการสะท้อนแสงของฟิล์มบางจึงเป็นเทคนิคการทดสอบพื้นฐานสำหรับฟิล์มบางทางแสง พารามิเตอร์ทางแสงของฟิล์มบางทางแสงประกอบด้วยดัชนีหักเห สัมประสิทธิ์การดูดกลืนแสง และความหนาของฟิล์มบางทางแสง เนื่องจากความคลาดเคลื่อนของสัดส่วนทางเคมีในส่วนประกอบของวัสดุของฟิล์มบางทางแสงที่เตรียมโดยกระบวนการจริง โครงสร้างจึงไม่เป็นเนื้อเดียวกันและหนาแน่นอีกต่อไป แต่มีโครงสร้างจุลภาคและข้อบกพร่องต่างๆ ชั้นฟิล์มไดอิเล็กทริกไม่โปร่งใสอย่างสมบูรณ์ และมีการดูดกลืนแสงที่อ่อนแอ ในขณะเดียวกันก็มีความไม่สม่ำเสมอในเชิงพื้นที่และความไม่สมมาตรของเฟสในดัชนีหักเหของฟิล์ม และฟิล์มก็ไม่ใช่พื้นผิวที่เรียบเนียนและไม่มีที่สิ้นสุดอีกต่อไป ที่สำคัญกว่านั้น ในกระบวนการเตรียมฟิล์มจริง พารามิเตอร์ของกระบวนการเตรียมฟิล์มมีผลกระทบอย่างมากต่อพารามิเตอร์ทางแสงของฟิล์ม ดังนั้นการตรวจสอบพารามิเตอร์ทางแสงของฟิล์มแบบเรียลไทม์จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง นอกจากนี้ ฟิล์มบางทางแสงซึ่งเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในสภาพแวดล้อมจริง นอกเหนือจากคุณลักษณะทางแสงของอุปกรณ์ที่ต้องตรงตามข้อกำหนดแล้ว ฟิล์มยังมีคุณลักษณะที่ไม่ใช่ทางแสงที่สำคัญอื่นๆ อีกมากมายที่ส่งผลต่อการใช้งานของฟิล์ม เช่น การยึดเกาะของฟิล์ม ความเค้นของฟิล์ม ความแข็งของฟิล์ม ความหยาบของพื้นผิว และความสามารถของฟิล์มในการทนต่อสภาพแวดล้อม เป็นต้น ดังนั้น การวัดพารามิเตอร์หรือคุณลักษณะต่างๆ ที่ส่งผลต่อการใช้งานของอุปกรณ์ฟิล์มบางอย่างแม่นยำจึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง
การส่งผ่านแสงและการสะท้อนแสงของฟิล์มบางส่วนใหญ่จะทดสอบโดยใช้เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัม เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัมสำหรับการทดสอบฟิล์มแสงสามารถแบ่งออกเป็นเครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ UV-Vis เครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์อินฟราเรด และเครื่องสเปกโตรมิเตอร์ฟูริเยร์อินฟราเรด ตามย่านความถี่การทดสอบที่แตกต่างกัน สองประเภทแรกใช้หลักการวิเคราะห์และทดสอบด้วยสเปกตรัม ในขณะที่ประเภทหลังใช้หลักการวิเคราะห์สเปกตรัมแบบแทรกสอด เนื่องจากโครงสร้างและรูปร่างทางเรขาคณิตที่แตกต่างกันของอุปกรณ์ฟิล์มบาง แม้ว่าการวัดการส่งผ่านแสงและการสะท้อนแสงจะทำได้เหมือนกัน แต่สำหรับรูปร่างที่แตกต่างกัน ความแม่นยำที่แตกต่างกัน หรือข้อกำหนดด้านโพลาไรเซชันที่แตกต่างกัน อาจต้องใช้วิธีการและเทคนิคการทดสอบที่แตกต่างกัน
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
วันที่โพสต์: 3 พฤศจิกายน 2023