Die Charakterisierung optischer Dünnschichten umfasst die Bestimmung ihrer optischen Eigenschaften, optischen Parameter und nicht-optischen Eigenschaften. Zu den optischen Eigenschaften zählen vor allem das spektrale Reflexionsvermögen, die Transmission und die optischen Verluste (Absorptions- und Reflexionsverluste). Transmission und Reflexion sind die grundlegendsten optischen Eigenschaften optischer Dünnschichten, daher ist deren Messung die Standardprüftechnik. Zu den optischen Parametern gehören Brechungsindex, Absorptionskoeffizient und Schichtdicke. Aufgrund von Abweichungen in der Stöchiometrie der Materialkomponenten ist die Struktur der hergestellten optischen Dünnschicht nicht mehr homogen und dicht, sondern weist Mikrostrukturen und verschiedene Defekte auf. Die dielektrische Schicht ist nicht mehr vollständig transparent und zeigt eine schwache Absorption. Der Brechungsindex der Schicht ist räumlich inhomogen und weist eine Phasenanisotropie auf, und die Grenzfläche ist nicht mehr unendlich und glatt. Wichtiger noch: Die Parameter des Filmherstellungsprozesses haben einen erheblichen Einfluss auf die optischen Eigenschaften des Films. Daher ist die Echtzeit-Überprüfung dieser Eigenschaften von entscheidender Bedeutung. Optische Dünnschichten müssen in realen Anwendungen neben den optischen Eigenschaften auch viele weitere wichtige nicht-optische Eigenschaften aufweisen, die ihre Verwendung beeinflussen. Dazu gehören beispielsweise Haftung, Spannung, Härte, Oberflächenrauheit und die Beständigkeit gegenüber Umwelteinflüssen. Aus diesem Grund ist die präzise Messung aller relevanten Parameter und Eigenschaften für die Anwendung von Dünnschichtbauelementen unerlässlich.
Die Transmission und Reflexion von Dünnschichten werden hauptsächlich mit Spektralanalysatoren gemessen. Spektralanalysatoren für die optische Filmprüfung lassen sich je nach Messbereich in UV-Vis-Spektrophotometer, Infrarot-Spektrophotometer und Infrarot-Fourier-Spektrometer unterteilen. Die ersten beiden nutzen das Prinzip der Spektralspektroskopie, das letztgenannte basiert auf dem Prinzip der Interferenzspektralanalyse. Aufgrund der unterschiedlichen Geometrien und Formen von Dünnschichtbauelementen erfordern unterschiedliche Geometrien, Präzisionsanforderungen oder Polarisationsvorgaben unter Umständen unterschiedliche Messmethoden und -techniken, obwohl Transmissions- und Reflexionsmessungen grundsätzlich möglich sind.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsmaschinenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungsdatum: 03.11.2023