Optik nazik filmin xarakteristikası optik xüsusiyyətlərin, optik parametrlərin və qeyri-optik xüsusiyyətlərin xarakteristikasını əhatə edir, optik xüsusiyyətlər əsasən optik nazik filmin spektral əks etdirmə, keçirmə və optik itki (udma itkisi və əks etdirmə itkisi) xüsusiyyətlərinə aiddir. Keçiricilik və əks etdirmə optik nazik filmlərin ən əsas optik xüsusiyyətləridir, buna görə də nazik filmin keçirmə və əks etdirmə qabiliyyətinin sınaqdan keçirilməsi optik nazik filmlər üçün əsas sınaq texnikasıdır. Optik nazik filmin optik parametrlərinə optik nazik filmin refraktiv indeksi, udma əmsalı və film qalınlığı daxildir. Faktiki proseslə hazırlanmış optik nazik filmin material komponentlərindəki stexiometrik sapma səbəbindən struktur artıq homojen və sıx deyil, lakin mikrostrukturlar və müxtəlif qüsurlar mövcuddur, dielektrik film təbəqəsi artıq tamamilə şəffaf deyil və zəif udma mövcuddur, filmin refraktiv indeksində fəza qeyri-bərabərliyi və faza anizotropiyası mövcuddur və film artıq sonsuz və hamar bir interfeys deyil. Daha da əhəmiyyətlisi, faktiki hazırlama prosesində film hazırlama prosesi parametrləri filmin optik parametrlərinə çox böyük təsir göstərir, buna görə də filmin optik parametrlərinin real vaxt rejimində təsdiqlənməsi çox vacibdir. Bundan əlavə, faktiki mühitdə istifadə olunan bir cihaz kimi optik nazik film, cihazın optik xüsusiyyətlərinə əlavə olaraq tələblərə cavab verməlidir, filmin yapışması, film gərginliyi, filmin sərtliyi və səthinin pürüzlülüyü, filmin ətraf mühitə davamlılıq qabiliyyəti və s. kimi bir çox digər vacib qeyri-optik xüsusiyyətlər də var. Buna görə də, nazik film cihazlarının istifadəsinə təsir edən bütün müxtəlif parametrləri və ya xüsusiyyətləri dəqiq ölçmək vacibdir.
Nazik təbəqələrin keçiriciliyi və əks etdirilməsi əsasən spektral test analizatorları vasitəsilə sınaqdan keçirilir. Optik təbəqə sınaqları üçün spektral analizatorlar müxtəlif test zolaqlarına görə UV-Vis spektrofotometrlərinə, infraqırmızı spektrofotometrlərə və infraqırmızı Furye spektrometrlərinə bölünə bilər. İlk ikisi analiz və sınaq sisteminin spektral spektroskopiya prinsipindən istifadə edir, ikincisi isə müdaxilə spektral analiz sisteminin prinsipinə əsaslanır. Nazik təbəqə cihazlarının fərqli həndəsi strukturları və formaları səbəbindən, bütün keçiricilik və əks etdirmə ölçmələri olsa da, fərqli formalar, fərqli dəqiqlik və ya fərqli polyarizasiya tələbləri üçün fərqli test metodları və texnikaları tələb oluna bilər.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 03 Noyabr 2023