Caracterização de filmes finos ópticos

A caracterização de filmes finos ópticos inclui a caracterização de suas propriedades ópticas, parâmetros ópticos e propriedades não ópticas. As propriedades ópticas referem-se principalmente à refletância espectral, transmitância e perdas ópticas (perdas por absorção e por reflexão) do filme fino. Transmitância e refletância são as propriedades ópticas mais básicas dos filmes finos ópticos, sendo o teste de transmitância e refletância a técnica fundamental para a caracterização desses filmes. Os parâmetros ópticos incluem o índice de refração, o coeficiente de absorção e a espessura do filme. Devido ao desvio estequiométrico nos componentes do material do filme fino óptico preparado pelo processo real, a estrutura deixa de ser homogênea e densa, apresentando microestruturas e diversos defeitos. A camada dielétrica deixa de ser completamente transparente e apresenta baixa absorção, enquanto o índice de refração do filme apresenta não uniformidade espacial e anisotropia de fase, resultando em uma interface infinita e suave. Mais importante ainda, no processo de preparação propriamente dito, os parâmetros de preparação do filme têm um impacto significativo sobre os parâmetros ópticos do filme. Portanto, a confirmação em tempo real desses parâmetros é crucial. Além disso, como o filme fino óptico é um dispositivo utilizado em ambientes reais, além das características ópticas que precisam ser atendidas, ele possui muitas outras características não ópticas importantes que afetam seu uso, como adesão, tensão, dureza, rugosidade superficial e resistência a diferentes condições ambientais. Assim, é fundamental medir com precisão todos os parâmetros ou características que afetam o uso de dispositivos de filme fino.

A transmitância e a refletância de filmes finos são testadas principalmente usando analisadores espectrais. Os analisadores espectrais para testes de filmes ópticos podem ser divididos em espectrofotômetros UV-Vis, espectrofotômetros infravermelhos e espectrômetros de infravermelho com transformada de Fourier, de acordo com as diferentes faixas de teste. Os dois primeiros utilizam o princípio da espectroscopia espectral para análise e teste, enquanto o último se baseia no princípio da análise espectral por interferência. Devido às diferentes estruturas geométricas e formatos dos dispositivos de filme fino, embora todos realizem medições de transmitância e refletância, diferentes formatos, diferentes precisões ou diferentes requisitos de polarização podem exigir métodos e técnicas de teste distintos.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua