La caracterización de películas delgadas ópticas incluye la caracterización de propiedades ópticas, parámetros ópticos y propiedades no ópticas. Las propiedades ópticas se refieren principalmente a la reflectancia espectral, la transmitancia y las pérdidas ópticas (pérdidas por absorción y por reflexión) de la película delgada óptica. La transmitancia y la reflectancia son las propiedades ópticas más básicas de las películas delgadas ópticas, por lo que la prueba de transmitancia y reflectancia de la película delgada es la técnica de prueba básica para las películas delgadas ópticas. Los parámetros ópticos de la película delgada óptica incluyen el índice de refracción, el coeficiente de absorción y el espesor de la película delgada óptica. Debido a la desviación estequiométrica en los componentes del material de la película delgada óptica preparada por el proceso real, la estructura ya no es homogénea y densa, sino que existen microestructuras y diversos defectos, la capa de película dieléctrica ya no es completamente transparente y hay una absorción débil mientras que hay no uniformidad espacial y anisotropía de fase en la película, y la película ya no es una interfaz infinita y lisa. Más importante aún, en el proceso de preparación, los parámetros del proceso de preparación de la película tienen un gran impacto en sus parámetros ópticos, por lo que la confirmación en tiempo real de estos parámetros es fundamental. Además, dado que la película delgada óptica es un dispositivo que se utiliza en un entorno real, además de cumplir con los requisitos de sus características ópticas, existen muchas otras características no ópticas importantes que afectan su uso, como la adhesión, la tensión, la dureza, la rugosidad superficial y la resistencia ambiental de la película. Por lo tanto, es importante medir con precisión todos los parámetros y características que afectan el uso de los dispositivos de película delgada.
La transmitancia y la reflectancia de las películas delgadas se miden principalmente mediante analizadores espectrales. Estos analizadores se clasifican, según las bandas de medición, en espectrofotómetros UV-Vis, espectrofotómetros infrarrojos y espectrómetros infrarrojos de Fourier. Los dos primeros se basan en el principio de espectroscopia espectral, mientras que el último se fundamenta en el análisis espectral por interferencia. Debido a las distintas formas y estructuras geométricas de los dispositivos de película delgada, si bien todas las mediciones de transmitancia y reflectancia son comunes, las diferentes formas, la precisión o los requisitos de polarización pueden requerir distintos métodos y técnicas de ensayo.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 3 de noviembre de 2023