Paglalarawan ng mga optical thin films

Ang paglalarawan ng optical thin film ay kinabibilangan ng paglalarawan ng mga optical properties, optical parameters, at non-optical properties. Ang mga optical properties ay pangunahing tumutukoy sa spectral reflectance, transmittance, at optical loss (absorption loss at reflection loss) properties ng optical thin film. Ang transmittance at reflectance ang pinakasimpleng optical properties ng optical thin films, kaya ang pagsubok ng thin film transmittance at reflectance ang pangunahing pamamaraan ng pagsubok para sa optical thin films. Ang mga optical parameter ng optical thin film ay kinabibilangan ng refractive index, absorption coefficient, at film thickness ng optical thin film. Dahil sa stoichiometric deviation sa mga materyal na bahagi ng optical thin film na inihanda ng aktwal na proseso, ang istraktura ay hindi na homogenous at siksik, ngunit may mga microstructure at iba't ibang depekto, ang dielectric film layer ay hindi na ganap na transparent, at mayroong mahinang absorption, habang may spatial non-uniformity at phase anisotropy sa refractive index ng film, at ang film ay hindi na isang infinite at makinis na interface. Higit sa lahat, sa aktwal na proseso ng paghahanda, ang mga parameter ng proseso ng paghahanda ng pelikula ay may napakalaking epekto sa mga optical parameter ng pelikula, kaya ang real-time na kumpirmasyon ng mga optical parameter ng pelikula ay napakahalaga. Bukod pa rito, ang optical thin film bilang isang aparato na ginagamit sa aktwal na kapaligiran, bilang karagdagan sa mga optical na katangian ng aparato ay kailangang matugunan ang mga kinakailangan, ang pelikula ay mayroong maraming iba pang mahahalagang katangiang hindi optical na nakakaapekto sa paggamit ng pelikula, tulad ng pagdikit ng pelikula, stress ng pelikula, katigasan at pagkamagaspang ng ibabaw ng pelikula at ang kakayahan ng pelikula na makatiis sa kapaligiran at iba pa. Samakatuwid, mahalagang tumpak na sukatin ang lahat ng iba't ibang mga parameter o katangian na nakakaapekto sa paggamit ng mga thin film device.

Ang transmittance at reflectance ng mga manipis na pelikula ay pangunahing sinusubok gamit ang mga spectral test analyzer. Ang mga spectral analyzer para sa optical film testing ay maaaring hatiin sa UV-Vis spectrophotometers, infrared spectrophotometers at infrared Fourier spectrometers ayon sa iba't ibang test bands. Ang unang dalawa ay gumagamit ng spectral spectroscopy principle of analysis and testing system, ang huli ay batay sa prinsipyo ng interference spectral analysis system. Dahil sa iba't ibang geometric na istruktura at hugis ng mga thin-film device, bagama't lahat ng transmittance at reflectance measurements, para sa iba't ibang hugis, iba't ibang precision o iba't ibang polarization requirements, maaaring mangailangan ng iba't ibang paraan at teknik ng pagsubok.

–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua