ציוד ציפוי ואקום הוא סוג של טכנולוגיית שיקוע שכבה דקה בסביבת ואקום, הנמצאת בשימוש נרחב באלקטרוניקה, אופטיקה, מדעי החומרים, אנרגיה וכן הלאה. ציוד ציפוי ואקום מורכב בעיקר מהחלקים הבאים:
תא ואקום: זהו החלק המרכזי של ציוד ציפוי הוואקום, שבו מתבצעים כל תהליכי הציפוי. תא הוואקום חייב להיות מסוגל לעמוד בסביבת הוואקום ולשמור על איטום טוב.
משאבת ואקום: משמשת לשאיבת האוויר בתוך תא הוואקום ליצירת סביבת ואקום. משאבות ואקום נפוצות כוללות משאבות מכניות ומשאבות מולקולריות.
מקור אידוי: משמש לחימום ואידוי חומר הציפוי. מקור האידוי יכול להיות חימום התנגדות, חימום באמצעות קרן אלקטרונים, חימום בלייזר וכן הלאה.
מסגרת השקיעה (מחזיק מצע): משמשת להנחת המצע המיועד לציפוי. ניתן לסובב או להזיז את מחזיק המצע כדי להבטיח אחידות הציפוי.
מערכת בקרה: משמשת לשליטה על כל תהליך הציפוי, כולל הפעלה ועצירה של משאבת הוואקום, בקרת הטמפרטורה של מקור האידוי והתאמת קצב השיקוע.
ציוד מדידה וניטור: משמש לניטור הפרמטרים המרכזיים בתהליך הציפוי בזמן אמת, כגון דרגת ואקום, טמפרטורה, קצב שקיעת חומרים וכו'.
מערכת אספקת חשמל: לספק את החשמל הנדרש לציוד ציפוי הוואקום.
מערכת קירור: משמשת לקירור תא הוואקום ורכיבים אחרים המייצרים חום כדי להבטיח את פעולת הציוד התקינה.
התיאום היעיל של רכיבים אלה מאפשר לציוד ציפוי הוואקום לשלוט במדויק בעובי, בהרכב ובמבנה של הסרט כדי לענות על מגוון צרכים תעשייתיים ומדעיים.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 27 ביולי 2024