Lofttæmishúðunarbúnaður er eins konar þunnfilmuútfellingartækni í lofttæmisumhverfi, sem er mikið notuð í rafeindatækni, ljósfræði, efnisfræði, orku og svo framvegis. Lofttæmishúðunarbúnaður samanstendur aðallega af eftirfarandi hlutum:
Lofttæmishólf: Þetta er kjarninn í lofttæmisbúnaðinum þar sem öll húðunarferlin fara fram. Lofttæmishólfið verður að geta þolað lofttæmisumhverfið og viðhaldið góðri þéttingu.
Lofttæmisdæla: Hún er notuð til að draga út loftið í lofttæmishólfinu til að skapa lofttæmisumhverfi. Algengar lofttæmisdælur eru meðal annars vélrænar dælur og sameindadælur.
Uppgufunargjafi: Notaður til að hita og gufa upp húðunarefnið. Uppgufunargjafinn getur verið viðnámshitun, rafeindageislahitun, leysigeislahitun og svo framvegis.
Útfellingarrammi (undirlagshaldari): notaður til að setja undirlagið sem á að húða. Hægt er að snúa eða færa undirlagshaldarann til að tryggja einsleitni húðunarinnar.
Stýrikerfi: Notað til að stjórna öllu húðunarferlinu, þar á meðal ræsingu og stöðvun lofttæmisdælunnar, hitastýringu uppgufunargjafans og stillingu á útfellingarhraða.
Mæli- og eftirlitsbúnaður: Notaður til að fylgjast með lykilþáttum í húðunarferlinu í rauntíma, svo sem lofttæmisgráðu, hitastigi, útfellingarhraða o.s.frv.
Rafmagnskerfi: til að veita nauðsynlega orku fyrir lofttæmingarbúnaðinn.
Kælikerfi: Notað til að kæla lofttæmishólfið og aðra hitamyndandi íhluti til að tryggja eðlilega virkni búnaðarins.
Virk samhæfing þessara íhluta gerir lofttæmishúðunarbúnaðinum kleift að stjórna nákvæmlega þykkt, samsetningu og uppbyggingu filmunnar til að mæta fjölbreyttum iðnaðar- og vísindaþörfum.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 27. júlí 2024