N'ihe banyere itinye ihe nkiri dị mkpa, teknụzụ ịgbasa mmiri aghọwo ụzọ a na-ejikarị eme ihe iji nweta ihe nkiri dị mkpa na nke dabara adaba na ụlọ ọrụ dị iche iche. Ntughari na ntụkwasị obi nke teknụzụ ndị a na-agbasa ngwa ha, na-enye ndị injinia na ndị nyocha aka ịhazi ihe nkiri dị mkpa maka ebumnuche ụfọdụ. Na blọọgụ a, anyị ga-eleba anya nke ọma na ụdị teknụzụ sputtering dị iche iche a na-ejikarị taa, na-akọwa njirimara pụrụ iche, uru na ngwa ha.
1. DC sputtering
DC sputtering bụ otu n'ime usoro ntinye ihe nkiri dị mkpa na nke a na-ejikarị. Usoro a na-agụnye iji isi iyi ike DC na-emepụta ihe na-egbuke egbuke na gburugburu ikuku gas dị ala. Iyọn ndị dị mma na plasma na-atụba ihe ezubere iche, na-akwatu atom ma tinye ha na mkpụrụ. A maara sputtering DC maka ịdị mfe ya, ọ dị ọnụ ahịa, yana ike itinye ihe nkiri dị mkpa dị elu na ihe dị iche iche, gụnyere iko, ceramik, na ọla.
Ngwa nke DC sputtering:
- Semiconductor mmepụta
- mkpuchi anya
- Mkpa ihe nkiri anyanwụ cell
2. Redio Frequency na Reactive sputtering
Ugboro redio (RF) sputtering bụ ike RF dị iche iche enyere aka nke sputter DC. N'ime usoro a, a na-ejupụta ihe ezubere iche na ion nke ike ugboro redio na-emepụta. Ọnụnọ nke mpaghara RF na-eme ka usoro ionization dịkwuo mma, na-enye ohere ịchịkwa nhazi nke ihe nkiri ahụ. N'aka nke ọzọ, ịgbasa ihe na-emeghachi omume na-agụnye iwebata gas na-emeghachi omume, dị ka nitrogen ma ọ bụ oxygen, n'ime ụlọ na-agbapụ. Nke a na-enyere aka ịmepụta ihe nkiri ndị dị mkpa nke ogige, dị ka oxides ma ọ bụ nitrides, nwere ihe onwunwe emelitere.
Ngwa nke RF na Reactive Sputtering:
- Mkpuchi mgbochi ntụgharị uche
- ihe mgbochi Semiconductor
- ntuziaka ebili mmiri anya
3. Magnetron sputtering
Magnetron sputtering bụ nhọrọ na-ewu ewu maka ntinye ego dị elu. Teknụzụ a na-eji oghere magnetik dị nso n'elu ebumnuche iji mee ka njupụta plasma dịkwuo elu, na-ebute arụmọrụ ionization dị elu yana ezigbo mmachi ihe nkiri dị mkpa. Ebe ndọta agbakwunyere na-egbochi plasma dị nso na ebumnuche, na-ebelata oriri ebumnuche ma e jiri ya tụnyere ụzọ ịgbasa mmiri. Magnetron sputtering na-eme ka ọnụego nkwụnye ego dị elu yana ihe mkpuchi dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka nrụpụta nnukwu.
Ngwa nke magnetron sputtering:
- transistor ihe nkiri dị mkpa
- Mgbasa ozi nchekwa magnetik
- Ihe mkpuchi ịchọ mma na iko na ígwè
4. Ion beam sputtering
Ion beam sputtering (IBS) bụ usoro dị iche iche maka ịgbasa ihe ezubere iche site na iji ion beam. IBS bụ nke a na-achịkwa nke ukwuu, na-enye ohere njikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-ebelata ihe onwunwe. Teknụzụ a na-eme ka nhazi stoichiometric ziri ezi yana ọkwa mmetọ dị ala. Site n'ịdị n'otu ihe nkiri mara mma na nhọrọ sara mbara nke ihe ebumnuche, IBS nwere ike imepụta ihe nkiri dị nro, enweghị ntụpọ, na-eme ka ọ dabara maka ngwa pụrụ iche.
Ngwa nke Ion Beam Sputtering:
- X-ray mirror
- Ihe nzacha anya
- mgbochi iyi na mkpuchi obere esemokwu
na ngwụcha
Ụwa nkà na ụzụ na-agbapụta ihe dị ukwuu ma dị iche iche, na-enye ndị injinia na ndị nchọpụta ọtụtụ ohere maka itinye ihe nkiri dị mkpa. Ọmụma nke ụdị dị iche iche nke sputtering usoro na ngwa ha dị oké mkpa iji nweta ezigbo mkpa film Njirimara dị ka kpọmkwem chọrọ. Site na sputtering DC dị mfe ruo na ion beam sputtering, usoro ọ bụla na-arụ ọrụ dị mkpa n'ọtụtụ ụlọ ọrụ, na-enye aka na ọganihu nke teknụzụ dị oke ọnụ.
Site n'ịghọta ihe kachasị ọhụrụ na teknụzụ sputtering, anyị nwere ike iji ike nke ihe nkiri ndị dị mkpa iji gboo ihe na-eto eto nke ụlọ ọrụ ọgbara ọhụrụ. Ma na ngwá electronic, optoelectronics ma ọ bụ ihe ndị dị elu, nkà na ụzụ sputtering na-aga n'ihu na-akpụzi ụzọ anyị si emepụta na ịmepụta teknụzụ nke echi.
Oge nzipu: Ọgọst-15-2023