Վակուումային ծածկույթների սարքավորումների բաղադրիչներ

Վակուումային ծածկույթով սարքավորումները բարակ թաղանթների նստեցման տեխնոլոգիայի տեսակ են վակուումային միջավայրում, որը լայնորեն կիրառվում է էլեկտրոնիկայի, օպտիկայի, նյութագիտության, էներգետիկայի և այլն ոլորտներում: Վակուումային ծածկույթով սարքավորումները հիմնականում բաղկացած են հետևյալ մասերից՝

Վակուումային խցիկ. Սա վակուումային ծածկույթի սարքավորումների հիմնական մասն է, որտեղ իրականացվում են բոլոր ծածկույթի գործընթացները: Վակուումային խցիկը պետք է կարողանա դիմակայել վակուումային միջավայրին և պահպանել լավ կնքումը:

Վակուումային պոմպ. Այն օգտագործվում է վակուումային խցիկի ներսից օդը դուրս մղելու համար՝ վակուումային միջավայր ստեղծելու համար: Տարածված վակուումային պոմպերը ներառում են մեխանիկական և մոլեկուլային պոմպեր:

Գոլորշիացման աղբյուր. Օգտագործվում է ծածկույթի նյութը տաքացնելու և գոլորշիացնելու համար: Գոլորշիացման աղբյուրը կարող է լինել դիմադրության տաքացումը, էլեկտրոնային ճառագայթային տաքացումը, լազերային տաքացումը և այլն:

Տեղադրման շրջանակ (հիմքի պահոց). օգտագործվում է ծածկույթի ենթակա հիմքը տեղադրելու համար: Հիմքի պահոցը կարող է պտտվել կամ տեղաշարժվել՝ ծածկույթի միատարրությունն ապահովելու համար:

Կառավարման համակարգ. Օգտագործվում է ծածկույթի ամբողջ գործընթացը կառավարելու համար, ներառյալ վակուումային պոմպի մեկնարկը և կանգառը, գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանի կարգավորումը և նստեցման արագության կարգավորումը։

Չափման և մոնիթորինգի սարքավորումներ. Օգտագործվում է ծածկույթի գործընթացի հիմնական պարամետրերը իրական ժամանակում մոնիթորինգի ենթարկելու համար, ինչպիսիք են վակուումի աստիճանը, ջերմաստիճանը, նստեցման արագությունը և այլն:

Էլեկտրամատակարարման համակարգ՝ վակուումային ծածկույթների սարքավորումների համար անհրաժեշտ հզորությունն ապահովելու համար։

Սառեցման համակարգ. օգտագործվում է վակուումային խցիկը և այլ ջերմություն առաջացնող բաղադրիչները սառեցնելու համար՝ սարքավորումների բնականոն գործունեությունը ապահովելու համար։

Այս բաղադրիչների արդյունավետ համակարգումը թույլ է տալիս վակուումային ծածկույթների սարքավորումներին ճշգրիտ կառավարել թաղանթի հաստությունը, կազմը և կառուցվածքը՝ բավարարելու արդյունաբերական և գիտական ​​բազմազան կարիքները։

- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա