A vákuumbevonó berendezés egyfajta vékonyréteg-leválasztási technológia vákuumkörnyezetben, amelyet széles körben használnak az elektronikában, az optikában, az anyagtudományban, az energetikában és így tovább. A vákuumbevonó berendezés főként a következő részekből áll:
Vákuumkamra: Ez a vákuumos bevonó berendezés központi része, amelyben az összes bevonási folyamatot végzik. A vákuumkamrának képesnek kell lennie arra, hogy ellenálljon a vákuumkörnyezetnek, és jó tömítést biztosítson.
Vákuumszivattyú: A vákuumkamrában lévő levegő elszívására szolgál, vákuumkörnyezet létrehozása érdekében. A gyakori vákuumszivattyúk közé tartoznak a mechanikus szivattyúk és a molekuláris szivattyúk.
Párolgásforrás: A bevonóanyag melegítésére és elpárologtatására szolgál. A párolgásforrás lehet ellenállásfűtés, elektronsugaras fűtés, lézeres fűtés stb.
Leválasztó keret (hordozótartó): a bevonandó hordozó elhelyezésére szolgál. A hordozótartó forgatható vagy mozgatható a bevonat egyenletességének biztosítása érdekében.
Vezérlőrendszer: A teljes bevonási folyamat vezérlésére szolgál, beleértve a vákuumszivattyú indítását és leállítását, a párologtató forrás hőmérsékletének szabályozását és a lerakódási sebesség beállítását.
Mérő- és felügyeleti berendezések: A bevonási folyamat kulcsfontosságú paramétereinek valós idejű monitorozására szolgálnak, mint például a vákuum mértéke, a hőmérséklet, a lerakódási sebesség stb.
Tápegység: a vákuumos bevonó berendezés szükséges áramellátásának biztosítása.
Hűtőrendszer: a vákuumkamra és más hőtermelő alkatrészek hűtésére szolgál a berendezés normál működésének biztosítása érdekében.
Ezen komponensek hatékony koordinációja lehetővé teszi a vákuumbevonó berendezés számára, hogy pontosan szabályozza a film vastagságát, összetételét és szerkezetét, így kielégítve a különféle ipari és tudományos igényeket.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. július 27.