Ekipman pou kouch vakyòm se yon kalite teknoloji pou depoze fim mens nan yon anviwònman vakyòm, ki lajman itilize nan elektwonik, optik, syans materyèl, enèji ak sou sa. Ekipman pou kouch vakyòm konpoze sitou de pati sa yo:
Chanm Vakyòm: Sa a se pati santral ekipman kouch vakyòm nan, kote tout pwosesis kouch yo fèt. Chanm vakyòm nan dwe kapab reziste anviwònman vakyòm nan epi kenbe yon bon sele.
Ponp Vakyòm: Li itilize pou ekstrè lè ki andedan chanm vakyòm nan pou kreye yon anviwònman vakyòm. Ponp vakyòm komen yo enkli ponp mekanik ak ponp molekilè.
Sous Evaporasyon: Itilize pou chofe epi evapore materyèl kouch la. Sous evaporasyon an kapab chofaj rezistans, chofaj gwo bout elektwon, chofaj lazè, elatriye.
Ankadreman Depozisyon (Sipò Substra): yo itilize li pou mete substrat ki pral kouvri a. Ou ka vire oswa deplase sipò substrat la pou asire inifòmite kouch la.
Sistèm Kontwòl: Itilize pou kontwole tout pwosesis kouch la, ki gen ladan demaraj ak arè ponp vakyòm lan, kontwòl tanperati sous evaporasyon an, ak ajisteman to depo a.
Ekipman mezi ak siveyans: Yo itilize li pou kontwole paramèt kle yo nan pwosesis kouch la an tan reyèl, tankou degre vakyòm, tanperati, vitès depo, elatriye.
Sistèm ekipman pou pouvwa: pou bay pouvwa ki nesesè pou ekipman kouch vakyòm lan.
Sistèm refwadisman: itilize pou refwadi chanm vakyòm nan ak lòt konpozan ki pwodui chalè pou asire fonksyònman nòmal ekipman an.
Kowòdinasyon efikas konpozan sa yo pèmèt ekipman kouch vakyòm lan kontwole avèk presizyon epesè, konpozisyon ak estrikti fim nan pou satisfè yon varyete bezwen endistriyèl ak syantifik.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 27 Jiyè 2024