ʻO nā mea hana hoʻoheheʻe ʻia he ʻano o ka ʻenehana deposition kiʻiʻoniʻoni lahilahi i loko o kahi ʻenekini, i hoʻohana nui ʻia i ka uila, optics, ʻepekema waiwai, ikehu a pēlā aku. Hoʻokumu nui ʻia nā mea hoʻonaninani vacuum i nā ʻāpana aʻe:
Keʻena Vacuum: ʻO kēia ke kumu nui o nā mea hana hoʻoheheʻe ʻia, kahi e hoʻokō ʻia ai nā kaʻina hana a pau. Pono e hiki i ke keʻena maʻemaʻe ke kū i ke kaiapuni a mālama i ka sila maikaʻi.
Pump Vacuum: Hoʻohana ʻia ia e unuhi i ka ea i loko o ke keʻena ʻūhā e hana ai i kahi kaiapuni. ʻO nā ʻumeke maʻamau e pili ana i nā pamu mechanical a me nā pamu molecular.
Punae hoʻoheheʻe: Hoʻohana ʻia e wela a hoʻoheheʻe i ka mea uhi. Hiki i ke kumu hoʻoheheʻe ke hoʻomehana kū'ē, ka wela electron beam, ka wela laser a pēlā aku.
ʻO ka pahu hoʻopaʻa (Substrate Holder): hoʻohana ʻia e kau i ka substrate e uhi ʻia. Hiki ke hoʻololi a hoʻoneʻe ʻia ka mea paʻa substrate e hōʻoia i ka kūlike o ka uhi.
Pūnaehana Mana: Hoʻohana ʻia e hoʻomalu i ke kaʻina hana uhi holoʻokoʻa, me ka hoʻomaka ʻana a me ka hoʻopau ʻana o ka pauma ʻūhā, ka mālama ʻana i ka mahana o ke kumu evaporation, a me ka hoʻoponopono ʻana i ka helu deposition.
Ke ana a me ka nānā ʻana i nā mea hana: Hoʻohana ʻia e nānā i nā ʻāpana koʻikoʻi i ke kaʻina hana uhi i ka manawa maoli, e like me ka vacuum degree, ka mahana, ka deposition rate, etc.
Pūnaehana hoʻolako mana: e hāʻawi i ka mana i koi ʻia no ka mea hoʻoheheʻe pahu.
Pūnaehana hoʻoluʻu: hoʻohana ʻia e hōʻoluʻolu i ke keʻena a me nā mea hana wela ʻē aʻe e hōʻoia i ka hana maʻamau o nā mea hana.
ʻO ka hoʻohui maikaʻi ʻana o kēia mau ʻāpana e hiki ai i nā mea hana hoʻoheheʻe vacuum ke hoʻomalu pono i ka mānoanoa, ka haku mele ʻana a me ke ʻano o ke kiʻiʻoniʻoni e hoʻokō i nā ʻano ʻenehana a me nā pono ʻepekema.
-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Iulai-27-2024