Ann an raon tasgadh film tana, tha teicneòlas sputtering air a bhith na dhòigh air a chleachdadh gu farsaing gus filmichean tana mionaideach agus aonfhoirmeil a choileanadh ann an diofar ghnìomhachasan. Tha iomadachd agus earbsachd nan teicneòlasan sin a’ leudachadh an tagraidhean, a’ leigeil le innleadairean agus luchd-rannsachaidh filmichean tana a dhealbhadh airson adhbharan sònraichte. Anns a’ phost bhlog seo, bheir sinn sùil dhomhainn air na diofar sheòrsaichean de theicneòlasan sputtering a thathas a’ cleachdadh gu cumanta an-diugh, a’ mìneachadh an cuid fheartan, buannachdan agus tagraidhean sònraichte.
1. Spùtadh DC
’S e spùtadh DC aon de na dòighean tasgadh film tana as bunaitiche agus as fharsainge. Tha am pròiseas a’ toirt a-steach cleachdadh stòr cumhachd DC gus sgaoileadh gleansach a chruthachadh ann an àrainneachd gas ìosal-bhruthadh. Bidh ianan adhartach anns a’ phlasma a’ bomadh an stuth targaid, a’ dì-ghluasad dadaman agus gan tasgadh air an t-substrate. Tha spùtadh DC ainmeil airson a shìmplidheachd, a chosgais-èifeachdas, agus a chomas filmichean tana àrd-inbhe a thasgadh air grunn substrates, nam measg glainne, ceirmeag, agus meatailtean.
Tagraidhean sputtering DC:
- Saothrachadh leth-sheoltairean
- Còmhdach optaigeach
- Ceallan grèine film tana
2. Tricead Rèidio agus Sputtering Ath-ghnìomhach
'S e seòrsa de sputtering DC le taic cumhachd RF a th' ann an sputtering tricead rèidio (RF). Anns an dòigh seo, tha an stuth targaid air a bhomadh le ianan air an gineadh le cumhachd tricead rèidio. Bidh làthaireachd raon RF a’ neartachadh a’ phròiseas ianachaidh, a’ leigeil le smachd nas mionaidiche a bhith air co-dhèanamh an fhilm. Air an làimh eile, tha sputtering ath-ghnìomhach a’ toirt a-steach a bhith a’ toirt a-steach gas ath-ghnìomhach, leithid naitridean no ogsaidean, a-steach don t-seòmar sputtering. Leigidh seo le cruthachadh fhilmichean tana de choimeasgaidhean, leithid ocsaidean no naitridean, le feartan stuthan nas fheàrr.
Tagraidhean RF agus Sputtering Ath-ghnìomhach:
- Còmhdach an-aghaidh meòrachadh
- Bacadh leth-sheoltaiche
- Stiùirichean tonn optaigeach
3. Spùtadh magnetron
Tha spùtadh magnetron na roghainn mòr-chòrdte airson tasgadh aig ìre àrd. Bidh an teicneòlas seo a’ cleachdadh raon magnetach faisg air uachdar an targaid gus dùmhlachd plasma a mheudachadh, agus mar thoradh air sin bidh èifeachdas ianachaidh nas àirde agus greamachadh film tana sàr-mhath ann. Bidh an raon magnetach a bharrachd a’ cumail a’ phlasma faisg air an targaid, a’ lughdachadh caitheamh an targaid an taca ri dòighean spùtadh àbhaisteach. Bidh spùtadh magnetron a’ dèanamh cinnteach à ìrean tasgadh nas àirde agus feartan còmhdach nas fheàrr, ga dhèanamh freagarrach airson saothrachadh air sgèile mhòr.
Cleachdaidhean sputtering magnetron:
- transistor film tana
- Meadhanan stòraidh magnetach
- Còmhdach sgeadachaidh air glainne agus meatailt
4. Spùtadh beam ian
Tha spùtadh gath ian (IBS) na dhòigh ioma-chruthach airson stuthan targaid a spùtadh le bhith a’ cleachdadh gath ian. Tha IBS furasta a smachdachadh, a’ leigeil le smachd mionaideach air tighead film agus a’ lughdachadh call stuthan. Tha an teicneòlas seo a’ dèanamh cinnteach à co-dhèanamh ceart gu stoichiometric agus ìrean truailleadh ìosal. Leis an aonfhoirmeachd film sàr-mhath aige agus taghadh farsaing de stuthan targaid, faodaidh IBS filmichean rèidh, gun lochdan a thoirt gu buil, ga dhèanamh freagarrach airson tagraidhean sònraichte.
Tagraidhean Sputtering Beam Ion:
- Sgàthan X-ghath
- Criathragan optaigeach
- Còmhdach an-aghaidh caitheamh agus ìosal-frithidh
mar cho-dhùnadh
Tha saoghal teicneòlas spùtadh farsaing agus eadar-mheasgte, a’ tabhann iomadh cothrom do innleadairean agus luchd-rannsachaidh airson tasgadh film tana. Tha eòlas air na diofar sheòrsaichean de dhòighean spùtadh agus na cleachdaidhean aca riatanach gus feartan film tana as fheàrr a choileanadh a rèir riatanasan sònraichte. Bho spùtadh DC sìmplidh gu spùtadh beam ian mionaideach, tha pàirt riatanach aig gach dòigh ann an iomadh gnìomhachas, a’ cur ri adhartas teicneòlais ùr-nodha.
Le bhith a’ tuigsinn nan leasachaidhean as ùire ann an teicneòlas sputtering, is urrainn dhuinn cumhachd fhilmichean tana a chleachdadh gus coinneachadh ri iarrtasan a tha a’ sìor fhàs ann an gnìomhachas an latha an-diugh. Ge bith an ann an eileagtronaig, optoelectronics no stuthan adhartach, tha teicneòlas sputtering a’ leantainn air adhart a’ cumadh mar a bhios sinn a’ dealbhadh agus a’ dèanamh theicneòlasan an ama ri teachd.
Àm puist: 15 Lùnastal 2023