L'équipement de revêtement sous vide est une technologie de dépôt de couches minces sous vide, largement utilisée en électronique, en optique, en science des matériaux, en énergie, etc. Il se compose principalement des éléments suivants :
Chambre à vide : Il s'agit de l'élément central de l'équipement de revêtement sous vide, où s'effectuent tous les processus de revêtement. La chambre à vide doit être capable de résister à l'environnement sous vide et de maintenir une bonne étanchéité.
Pompe à vide : elle sert à extraire l'air de la chambre à vide afin de créer un environnement sous vide. Les pompes à vide les plus courantes sont les pompes mécaniques et les pompes moléculaires.
Source d'évaporation : utilisée pour chauffer et évaporer le matériau de revêtement. La source d'évaporation peut être un chauffage par résistance, un chauffage par faisceau d'électrons, un chauffage par laser, etc.
Cadre de dépôt (support de substrat) : utilisé pour placer le substrat à revêtir. Le support de substrat peut être tourné ou déplacé pour assurer l'uniformité du revêtement.
Système de contrôle : utilisé pour contrôler l'ensemble du processus de revêtement, y compris le démarrage et l'arrêt de la pompe à vide, le contrôle de la température de la source d'évaporation et le réglage du taux de dépôt.
Équipement de mesure et de surveillance : utilisé pour surveiller les paramètres clés du processus de revêtement en temps réel, tels que le degré de vide, la température, le taux de dépôt, etc.
Système d'alimentation électrique : pour fournir la puissance nécessaire à l'équipement de revêtement sous vide.
Système de refroidissement : utilisé pour refroidir la chambre à vide et d'autres composants générateurs de chaleur pour assurer le fonctionnement normal de l'équipement.
La coordination efficace de ces composants permet à l'équipement de revêtement sous vide de contrôler avec précision l'épaisseur, la composition et la structure du film pour répondre à une variété de besoins industriels et scientifiques.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 27 juillet 2024