Tyhjiöpinnoituslaitteisto on eräänlainen ohutkalvopinnoitustekniikka tyhjiöympäristössä, jota käytetään laajalti elektroniikassa, optiikassa, materiaalitieteessä, energiassa ja niin edelleen. Tyhjiöpinnoituslaitteisto koostuu pääasiassa seuraavista osista:
Tyhjiökammio: Tämä on tyhjiöpinnoituslaitteiston ydinosa, jossa kaikki pinnoitusprosessit suoritetaan. Tyhjiökammion on kestettävä tyhjiöympäristö ja säilytettävä hyvä tiivistys.
Tyhjiöpumppu: Sitä käytetään tyhjiökammion sisällä olevan ilman poistamiseen tyhjiöympäristön luomiseksi. Yleisiä tyhjiöpumppuja ovat mekaaniset pumput ja molekyylipumput.
Höyrystyslähde: Käytetään pinnoitemateriaalin lämmittämiseen ja haihduttamiseen. Höyrystyslähde voi olla vastuslämmitys, elektronisuihkulämmitys, laserlämmitys ja niin edelleen.
Päällystyskehys (alustan pidike): käytetään pinnoitettavan alustan asettamiseen. Alustan pidikettä voidaan kiertää tai siirtää pinnoitteen tasaisuuden varmistamiseksi.
Ohjausjärjestelmä: Käytetään koko pinnoitusprosessin ohjaamiseen, mukaan lukien tyhjiöpumpun käynnistys ja pysäytys, haihdutuslähteen lämpötilan säätö ja laskeutumisnopeuden säätö.
Mittaus- ja valvontalaitteet: Käytetään pinnoitusprosessin keskeisten parametrien, kuten tyhjiöasteen, lämpötilan, laskeutumisnopeuden jne., valvontaan reaaliajassa.
Virtalähdejärjestelmä: tyhjiöpinnoituslaitteiston tarvittavan virran tuottamiseksi.
Jäähdytysjärjestelmä: käytetään tyhjiökammion ja muiden lämpöä tuottavien komponenttien jäähdyttämiseen laitteen normaalin toiminnan varmistamiseksi.
Näiden komponenttien tehokas koordinointi mahdollistaa tyhjiöpinnoituslaitteiston kalvon paksuuden, koostumuksen ja rakenteen tarkan hallinnan erilaisten teollisten ja tieteellisten tarpeiden täyttämiseksi.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisuaika: 27.7.2024