تجهیزات پوششدهی خلاء نوعی فناوری رسوب لایه نازک در محیط خلاء است که به طور گسترده در الکترونیک، اپتیک، علوم مواد، انرژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرد. تجهیزات پوششدهی خلاء عمدتاً از بخشهای زیر تشکیل شده است:
محفظه خلاء: این بخش اصلی تجهیزات پوششدهی در خلاء است که تمام فرآیندهای پوششدهی در آن انجام میشود. محفظه خلاء باید بتواند در برابر محیط خلاء مقاومت کند و آببندی خوبی داشته باشد.
پمپ خلاء: برای استخراج هوای داخل محفظه خلاء جهت ایجاد محیط خلاء استفاده میشود. پمپهای خلاء رایج شامل پمپهای مکانیکی و پمپهای مولکولی هستند.
منبع تبخیر: برای گرم کردن و تبخیر ماده پوشش دهنده استفاده میشود. منبع تبخیر میتواند گرمایش مقاومتی، گرمایش با پرتو الکترونی، گرمایش با لیزر و غیره باشد.
قاب رسوب (نگهدارنده زیرلایه): برای قرار دادن زیرلایه مورد پوشش استفاده میشود. نگهدارنده زیرلایه را میتوان چرخاند یا جابجا کرد تا یکنواختی پوشش تضمین شود.
سیستم کنترل: برای کنترل کل فرآیند پوششدهی، شامل شروع و توقف پمپ خلاء، کنترل دمای منبع تبخیر و تنظیم نرخ رسوبگذاری استفاده میشود.
تجهیزات اندازهگیری و پایش: برای پایش پارامترهای کلیدی در فرآیند پوششدهی به صورت بلادرنگ، مانند میزان خلأ، دما، نرخ رسوبگذاری و غیره استفاده میشود.
سیستم تامین برق: برای تامین برق مورد نیاز تجهیزات پوشش دهی در خلاء.
سیستم خنک کننده: برای خنک کردن محفظه خلاء و سایر اجزای تولید گرما برای اطمینان از عملکرد طبیعی تجهیزات استفاده می شود.
هماهنگی مؤثر این اجزا، تجهیزات پوششدهی در خلاء را قادر میسازد تا ضخامت، ترکیب و ساختار فیلم را به طور دقیق کنترل کنند تا نیازهای مختلف صنعتی و علمی را برآورده سازند.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۷ ژوئیه ۲۰۲۴