Hutsean estaltzeko ekipoak hutsean dagoen geruza meheen metaketa teknologia mota bat da, elektronikan, optikan, materialen zientzian, energian eta abarretan oso erabilia dena. Hutsean estaltzeko ekipoak batez ere honako atal hauek osatzen dituzte:
Hutseko ganbera: Hutseko estaldura-ekipoaren muina da hau, estaldura-prozesu guztiak bertan egiten baitira. Hutseko ganberak hutseko ingurunea jasan eta zigilatze ona mantendu behar du.
Huts-ponpa: Huts-ganberaren barruko airea ateratzeko erabiltzen da, huts-ingurune bat sortzeko. Huts-ponpa ohikoenen artean ponpa mekanikoak eta ponpa molekularrak daude.
Lurruntze-iturria: Estaldura-materiala berotzeko eta lurruntzeko erabiltzen da. Lurruntze-iturria erresistentzia-berokuntza, elektroi-izpien bidezko berokuntza, laser bidezko berokuntza eta abar izan daiteke.
Jartze-markoa (Substratuaren euskarria): estali beharreko substratua jartzeko erabiltzen da. Substratuaren euskarria biratu edo mugitu daiteke estalduraren uniformetasuna bermatzeko.
Kontrol Sistema: Estaldura-prozesu osoa kontrolatzeko erabiltzen da, huts-ponparen abiaraztea eta gelditzea, lurruntze-iturriaren tenperatura-kontrola eta deposizio-tasaren doikuntza barne.
Neurtzeko eta monitorizatzeko ekipoak: Estaldura-prozesuko parametro nagusiak denbora errealean monitorizatzeko erabiltzen dira, hala nola hutsune-maila, tenperatura, deposizio-tasa, etab.
Energia hornitzeko sistema: hutsean estaltzeko ekipoari beharrezko energia emateko.
Hozte sistema: huts-ganbera eta beroa sortzen duten beste osagai batzuk hozteko erabiltzen da, ekipamenduaren funtzionamendu normala bermatzeko.
Osagai hauen koordinazio eraginkorrari esker, hutsean estaltzeko ekipamenduak filmaren lodiera, osaera eta egitura zehatz-mehatz kontrola ditzake, hainbat industria- eta zientzia-behar asetzeko.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko uztailak 27