Vaakumkatmisseadmed on õhukese kile sadestamise tehnoloogia vaakumkeskkonnas, mida kasutatakse laialdaselt elektroonikas, optikas, materjaliteaduses, energeetikas jne. Vaakumkatmisseadmed koosnevad peamiselt järgmistest osadest:
Vaakumkamber: See on vaakumkatmisseadme põhiosa, milles viiakse läbi kõik katmisprotsessid. Vaakumkamber peab vastu pidama vaakumkeskkonnale ja säilitama hea tihendi.
Vaakumpump: Seda kasutatakse vaakumkambris oleva õhu väljatõmbamiseks vaakumkeskkonna loomiseks. Levinud vaakumpumpade hulka kuuluvad mehaanilised pumbad ja molekulaarpumbad.
Aurustusallikas: Kasutatakse kattematerjali kuumutamiseks ja aurustamiseks. Aurustusallikaks võib olla takistusküte, elektronkiirküte, laserküte jne.
Sadestusraam (aluspinna hoidik): kasutatakse kaetava aluspinna paigutamiseks. Aluspinna hoidikut saab pöörata või liigutada, et tagada katte ühtlus.
Juhtimissüsteem: Kasutatakse kogu katmisprotsessi juhtimiseks, sealhulgas vaakumpumba käivitamiseks ja seiskamiseks, aurustusallika temperatuuri reguleerimiseks ja sadestumiskiiruse reguleerimiseks.
Mõõte- ja jälgimisseadmed: kasutatakse katmisprotsessi põhiparameetrite, näiteks vaakumi astme, temperatuuri, sadestumiskiiruse jne reaalajas jälgimiseks.
Toitesüsteem: vaakumkatmisseadmete vajaliku toite tagamiseks.
Jahutussüsteem: kasutatakse vaakumkambri ja muude soojust genereerivate komponentide jahutamiseks, et tagada seadme normaalne töö.
Nende komponentide tõhus koordineerimine võimaldab vaakumkatmisseadmetel täpselt kontrollida kile paksust, koostist ja struktuuri, et rahuldada mitmesuguseid tööstuslikke ja teaduslikke vajadusi.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 27. juuli 2024