El equipo de recubrimiento al vacío es una tecnología de deposición de película delgada en un entorno de vacío, ampliamente utilizada en electrónica, óptica, ciencia de materiales, energía, etc. El equipo de recubrimiento al vacío se compone principalmente de las siguientes partes:
Cámara de vacío: Es la parte central del equipo de recubrimiento al vacío, donde se llevan a cabo todos los procesos de recubrimiento. La cámara de vacío debe ser capaz de soportar el entorno de vacío y mantener un buen sellado.
Bomba de vacío: Se utiliza para extraer el aire dentro de la cámara de vacío y crear un ambiente de vacío. Las bombas de vacío más comunes incluyen bombas mecánicas y bombas moleculares.
Fuente de evaporación: Se utiliza para calentar y evaporar el material de recubrimiento. La fuente de evaporación puede ser calentamiento por resistencia, calentamiento por haz de electrones, calentamiento por láser, etc.
Bastidor de deposición (Soporte de Sustrato): Se utiliza para colocar el sustrato a recubrir. El soporte de sustrato puede girarse o moverse para garantizar la uniformidad del recubrimiento.
Sistema de control: Se utiliza para controlar todo el proceso de recubrimiento, incluido el inicio y la parada de la bomba de vacío, el control de temperatura de la fuente de evaporación y el ajuste de la tasa de deposición.
Equipos de medición y monitoreo: Se utilizan para monitorear los parámetros clave en el proceso de recubrimiento en tiempo real, como el grado de vacío, la temperatura, la tasa de deposición, etc.
Sistema de alimentación: para proporcionar la energía necesaria para el equipo de recubrimiento al vacío.
Sistema de enfriamiento: se utiliza para enfriar la cámara de vacío y otros componentes generadores de calor para garantizar el funcionamiento normal del equipo.
La coordinación efectiva de estos componentes permite que el equipo de recubrimiento al vacío controle con precisión el espesor, la composición y la estructura de la película para satisfacer una variedad de necesidades industriales y científicas.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 27 de julio de 2024