Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού είναι ένα είδος τεχνολογίας εναπόθεσης λεπτών υμενίων σε περιβάλλον κενού, το οποίο χρησιμοποιείται ευρέως στην ηλεκτρονική, την οπτική, την επιστήμη των υλικών, την ενέργεια κ.ο.κ. Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού αποτελείται κυρίως από τα ακόλουθα μέρη:
Θάλαμος κενού: Αυτό είναι το βασικό μέρος του εξοπλισμού επίστρωσης κενού, στο οποίο εκτελούνται όλες οι διαδικασίες επίστρωσης. Ο θάλαμος κενού πρέπει να είναι σε θέση να αντέχει στο περιβάλλον κενού και να διατηρεί καλή στεγανοποίηση.
Αντλία κενού: Χρησιμοποιείται για την εξαγωγή του αέρα μέσα στον θάλαμο κενού για τη δημιουργία ενός περιβάλλοντος κενού. Οι συνήθεις αντλίες κενού περιλαμβάνουν μηχανικές αντλίες και μοριακές αντλίες.
Πηγή εξάτμισης: Χρησιμοποιείται για τη θέρμανση και την εξάτμιση του υλικού επικάλυψης. Η πηγή εξάτμισης μπορεί να είναι η θέρμανση με αντίσταση, η θέρμανση με δέσμη ηλεκτρονίων, η θέρμανση με λέιζερ και ούτω καθεξής.
Πλαίσιο εναπόθεσης (Υποστρωματικό υποστρώμα): χρησιμοποιείται για την τοποθέτηση του υποστρώματος που πρόκειται να επικαλυφθεί. Το υποστρωματικό υποστρώμα μπορεί να περιστραφεί ή να μετακινηθεί για να διασφαλιστεί η ομοιομορφία της επικάλυψης.
Σύστημα Ελέγχου: Χρησιμοποιείται για τον έλεγχο ολόκληρης της διαδικασίας επίστρωσης, συμπεριλαμβανομένης της έναρξης και διακοπής της αντλίας κενού, του ελέγχου θερμοκρασίας της πηγής εξάτμισης και της ρύθμισης του ρυθμού εναπόθεσης.
Εξοπλισμός μέτρησης και παρακολούθησης: Χρησιμοποιείται για την παρακολούθηση των βασικών παραμέτρων στη διαδικασία επίστρωσης σε πραγματικό χρόνο, όπως ο βαθμός κενού, η θερμοκρασία, ο ρυθμός εναπόθεσης κ.λπ.
Σύστημα τροφοδοσίας: για την παροχή της απαιτούμενης ισχύος για τον εξοπλισμό επίστρωσης κενού.
Σύστημα ψύξης: χρησιμοποιείται για την ψύξη του θαλάμου κενού και άλλων εξαρτημάτων που παράγουν θερμότητα για να διασφαλιστεί η κανονική λειτουργία του εξοπλισμού.
Ο αποτελεσματικός συντονισμός αυτών των εξαρτημάτων επιτρέπει στον εξοπλισμό επίστρωσης κενού να ελέγχει με ακρίβεια το πάχος, τη σύνθεση και τη δομή της μεμβράνης, ώστε να καλύπτει μια ποικιλία βιομηχανικών και επιστημονικών αναγκών.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 27 Ιουλίου 2024