Vakuumbelægningsudstyr er en form for tyndfilmsaflejringsteknologi i et vakuummiljø, som er meget udbredt inden for elektronik, optik, materialevidenskab, energi og så videre. Vakuumbelægningsudstyr består hovedsageligt af følgende dele:
Vakuumkammer: Dette er kernedelen af vakuumbelægningsudstyret, hvori alle belægningsprocesser udføres. Vakuumkammeret skal kunne modstå vakuummiljøet og opretholde god forsegling.
Vakuumpumpe: Den bruges til at udtrække luften inde i vakuumkammeret for at skabe et vakuummiljø. Almindelige vakuumpumper omfatter mekaniske pumper og molekylære pumper.
Fordampningskilde: Bruges til at opvarme og fordampe belægningsmaterialet. Fordampningskilden kan være modstandsopvarmning, elektronstråleopvarmning, laseropvarmning osv.
Aflejringsramme (substratholder): bruges til at placere det substrat, der skal belægges. Substratholderen kan drejes eller flyttes for at sikre ensartet belægning.
Styresystem: Bruges til at styre hele belægningsprocessen, herunder start og stop af vakuumpumpen, temperaturstyring af fordampningskilden og justering af aflejringshastigheden.
Måle- og overvågningsudstyr: Bruges til at overvåge nøgleparametre i belægningsprocessen i realtid, såsom vakuumgrad, temperatur, aflejringshastighed osv.
Strømforsyningssystem: for at levere den nødvendige strøm til vakuumbelægningsudstyret.
Kølesystem: bruges til at køle vakuumkammeret og andre varmegenererende komponenter for at sikre udstyrets normale drift.
Den effektive koordinering af disse komponenter gør det muligt for vakuumbelægningsudstyret præcist at kontrollere filmens tykkelse, sammensætning og struktur for at imødekomme en række industrielle og videnskabelige behov.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 27. juli 2024