Vakuové povlakovací zařízení je druh technologie nanášení tenkých vrstev ve vakuovém prostředí, která se široce používá v elektronice, optice, materiálových vědách, energetice atd. Vakuové povlakovací zařízení se skládá hlavně z následujících částí:
Vakuová komora: Toto je klíčová část zařízení pro vakuové lakování, ve které probíhají všechny procesy lakování. Vakuová komora musí být schopna odolat vakuovému prostředí a udržovat dobré utěsnění.
Vakuová pumpa: Používá se k odsávání vzduchu uvnitř vakuové komory za účelem vytvoření vakuového prostředí. Mezi běžné vakuové pumpy patří mechanické pumpy a molekulární pumpy.
Zdroj odpařování: Používá se k ohřevu a odpařování povlakového materiálu. Zdrojem odpařování může být odporový ohřev, ohřev elektronovým paprskem, laserový ohřev a tak dále.
Depoziční rám (držák substrátu): používá se k umístění substrátu, který má být potažen. Držák substrátu lze otáčet nebo posouvat, aby byla zajištěna rovnoměrnost povlaku.
Řídicí systém: Slouží k řízení celého procesu nanášení povlaku, včetně spouštění a zastavování vakuové pumpy, regulace teploty zdroje odpařování a nastavení rychlosti nanášení.
Měřicí a monitorovací zařízení: Používá se k monitorování klíčových parametrů procesu nanášení povlaků v reálném čase, jako je stupeň vakua, teplota, rychlost nanášení atd.
Systém napájení: pro zajištění potřebného napájení pro zařízení pro vakuové lakování.
Chladicí systém: slouží k chlazení vakuové komory a dalších součástí generujících teplo, aby byl zajištěn normální provoz zařízení.
Efektivní koordinace těchto komponent umožňuje zařízení pro vakuové nanášení přesně řídit tloušťku, složení a strukturu filmu a splňovat tak řadu průmyslových a vědeckých potřeb.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 27. července 2024