L'equipaggiu di rivestimentu à vuoto hè un tipu di tecnulugia di deposizione di film sottili in un ambiente à vuoto, chì hè largamente utilizatu in elettronica, ottica, scienza di i materiali, energia è cusì. L'equipaggiu di rivestimentu à vuoto hè principalmente cumpostu da e seguenti parti:
Camera à vuoto: Questa hè a parte centrale di l'equipaggiu di rivestimentu à vuoto, in a quale si realizanu tutti i prucessi di rivestimentu. A camera à vuoto deve esse capace di resiste à l'ambiente di vuoto è di mantene una bona sigillatura.
Pompa à vuoto: Hè aduprata per estrarre l'aria in a camera à vuoto per creà un ambiente à vuoto. E pompe à vuoto cumuni includenu pompe meccaniche è pompe moleculari.
Fonte d'evaporazione: Aduprata per scaldà è evaporà u materiale di rivestimentu. A fonte d'evaporazione pò esse u riscaldamentu per resistenza, u riscaldamentu à fasciu d'elettroni, u riscaldamentu laser è cusì via.
Quadru di deposizione (Supporto del substrato): utilizatu per piazzà u substrato da rivestire. U supporto del substrato pò esse giratu o spostatu per assicurà l'uniformità di u rivestimentu.
Sistema di cuntrollu: Adupratu per cuntrullà tuttu u prucessu di rivestimentu, cumprese l'iniziu è l'arrestu di a pompa à vuoto, u cuntrollu di a temperatura di a fonte di evaporazione è l'aghjustamentu di a velocità di deposizione.
Apparecchiature di misurazione è monitoraghju: Aduprate per monitorà i parametri chjave in u prucessu di rivestimentu in tempu reale, cum'è u gradu di vacuum, a temperatura, a velocità di deposizione, ecc.
Sistema di alimentazione: per furnisce a putenza necessaria per l'equipaggiu di rivestimentu à vuoto.
Sistema di raffreddamentu: utilizatu per rinfriscà a camera di vuoto è altri cumpunenti chì generanu calore per assicurà u funziunamentu nurmale di l'attrezzatura.
A coordinazione efficace di sti cumpunenti permette à l'equipaggiu di rivestimentu à vuoto di cuntrullà precisamente u spessore, a cumpusizione è a struttura di u film per risponde à una varietà di bisogni industriali è scientifichi.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 27 di lugliu di u 2024

