L'equip de recobriment al buit és un tipus de tecnologia de deposició de pel·lícules primes en un entorn de buit, que s'utilitza àmpliament en electrònica, òptica, ciència de materials, energia, etc. L'equip de recobriment al buit es compon principalment de les parts següents:
Cambra de buit: Aquesta és la part central de l'equip de recobriment al buit, on es duen a terme tots els processos de recobriment. La cambra de buit ha de ser capaç de suportar l'entorn de buit i mantenir un bon segellat.
Bomba de buit: S'utilitza per extreure l'aire de l'interior de la cambra de buit per crear un ambient de buit. Les bombes de buit comunes inclouen bombes mecàniques i bombes moleculars.
Font d'evaporació: S'utilitza per escalfar i evaporar el material de recobriment. La font d'evaporació pot ser un escalfament per resistència, un escalfament per feix d'electrons, un escalfament per làser, etc.
Marc de deposició (suport del substrat): s'utilitza per col·locar el substrat que s'ha de recobrir. El suport del substrat es pot girar o moure per garantir la uniformitat del recobriment.
Sistema de control: s'utilitza per controlar tot el procés de recobriment, incloent-hi l'inici i l'aturada de la bomba de buit, el control de temperatura de la font d'evaporació i l'ajust de la velocitat de deposició.
Equips de mesura i monitorització: s'utilitzen per monitoritzar els paràmetres clau del procés de recobriment en temps real, com ara el grau de buit, la temperatura, la velocitat de deposició, etc.
Sistema d'alimentació: per proporcionar la potència necessària per a l'equip de recobriment al buit.
Sistema de refrigeració: s'utilitza per refredar la cambra de buit i altres components generadors de calor per garantir el funcionament normal de l'equip.
La coordinació efectiva d'aquests components permet que l'equip de recobriment al buit controli amb precisió el gruix, la composició i l'estructura de la pel·lícula per satisfer una varietat de necessitats industrials i científiques.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 27 de juliol de 2024