পাতলা ফিল্ম জমা করার ক্ষেত্রে, বিভিন্ন শিল্পে সুনির্দিষ্ট এবং অভিন্ন পাতলা ফিল্ম অর্জনের জন্য স্পুটারিং প্রযুক্তি একটি বহুল ব্যবহৃত পদ্ধতি হয়ে উঠেছে। এই প্রযুক্তির বহুমুখীতা এবং নির্ভরযোগ্যতা তাদের প্রয়োগকে প্রসারিত করে, যা প্রকৌশলী এবং গবেষকদের নির্দিষ্ট উদ্দেশ্যে পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে সাহায্য করে। এই ব্লগ পোস্টে, আমরা বর্তমানে সাধারণত ব্যবহৃত বিভিন্ন ধরণের স্পুটারিং প্রযুক্তির উপর গভীরভাবে নজর দেব, তাদের অনন্য বৈশিষ্ট্য, সুবিধা এবং প্রয়োগ ব্যাখ্যা করব।
১. ডিসি স্পুটারিং
ডিসি স্পুটারিং হল সবচেয়ে মৌলিক এবং বহুল ব্যবহৃত পাতলা ফিল্ম জমা করার কৌশলগুলির মধ্যে একটি। এই প্রক্রিয়ায় একটি ডিসি পাওয়ার সোর্স ব্যবহার করে নিম্ন-চাপের গ্যাস পরিবেশে আভা স্রাব তৈরি করা হয়। প্লাজমার ধনাত্মক আয়ন লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে, পরমাণুগুলিকে সরিয়ে দেয় এবং সাবস্ট্রেটের উপর জমা করে। ডিসি স্পুটারিং তার সরলতা, ব্যয়-কার্যকারিতা এবং কাচ, সিরামিক এবং ধাতু সহ বিভিন্ন সাবস্ট্রেটের উপর উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম জমা করার ক্ষমতার জন্য পরিচিত।
ডিসি স্পুটারিংয়ের প্রয়োগ:
- সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন
- অপটিক্যাল লেপ
- পাতলা ফিল্ম সৌর কোষ
2. রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি এবং প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিং
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF) স্পুটারিং হল DC স্পুটারিংয়ের একটি RF পাওয়ার অ্যাসিস্টেড ভেরিয়েন্ট। এই পদ্ধতিতে, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার দ্বারা উৎপন্ন আয়ন দিয়ে লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করা হয়। RF ক্ষেত্রের উপস্থিতি আয়নীকরণ প্রক্রিয়াকে উন্নত করে, যা ফিল্মের গঠনের আরও সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের অনুমতি দেয়। অন্যদিকে, প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিংয়ের মধ্যে নাইট্রোজেন বা অক্সিজেনের মতো একটি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস স্পুটারিং চেম্বারে প্রবেশ করানো জড়িত। এটি বর্ধিত উপাদান বৈশিষ্ট্য সহ অক্সাইড বা নাইট্রাইডের মতো যৌগের পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে সক্ষম করে।
আরএফ এবং রিঅ্যাকটিভ স্পুটারিংয়ের প্রয়োগ:
- প্রতিফলন-বিরোধী আবরণ
- সেমিকন্ডাক্টর বাধা
- অপটিক্যাল ওয়েভগাইড
৩. ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং
উচ্চ-হারে জমা করার জন্য ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং একটি জনপ্রিয় পছন্দ। এই প্রযুক্তি লক্ষ্য পৃষ্ঠের কাছাকাছি একটি চৌম্বক ক্ষেত্র ব্যবহার করে প্লাজমা ঘনত্ব বৃদ্ধি করে, যার ফলে উচ্চ আয়নীকরণ দক্ষতা এবং চমৎকার পাতলা ফিল্ম আনুগত্য তৈরি হয়। অতিরিক্ত চৌম্বক ক্ষেত্র প্লাজমাকে লক্ষ্যের কাছাকাছি সীমাবদ্ধ করে, প্রচলিত স্পুটারিং পদ্ধতির তুলনায় লক্ষ্য খরচ হ্রাস করে। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং উচ্চতর জমার হার এবং উচ্চতর আবরণ বৈশিষ্ট্য নিশ্চিত করে, যা এটিকে বৃহৎ আকারের উৎপাদনের জন্য আদর্শ করে তোলে।
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের প্রয়োগ:
- পাতলা ফিল্ম ট্রানজিস্টর
- চৌম্বকীয় স্টোরেজ মিডিয়া
- কাচ এবং ধাতুর উপর আলংকারিক আবরণ
৪. আয়ন বিম স্পুটারিং
আয়ন বিম স্পুটারিং (IBS) হল আয়ন বিম ব্যবহার করে লক্ষ্যবস্তু স্পুটারিংয়ের একটি বহুমুখী কৌশল। IBS অত্যন্ত নিয়ন্ত্রণযোগ্য, যা ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণের সুনির্দিষ্ট সুযোগ দেয় এবং উপাদানের ক্ষতি কমিয়ে দেয়। এই প্রযুক্তিটি স্টোইচিওমেট্রিকভাবে সঠিক রচনা এবং নিম্ন দূষণের মাত্রা নিশ্চিত করে। এর চমৎকার ফিল্মের অভিন্নতা এবং লক্ষ্যবস্তু উপকরণের বিস্তৃত নির্বাচনের মাধ্যমে, IBS মসৃণ, ত্রুটিমুক্ত ফিল্ম তৈরি করতে পারে, যা এটিকে বিশেষ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
আয়ন বিম স্পুটারিংয়ের প্রয়োগ:
- এক্স-রে আয়না
- অপটিক্যাল ফিল্টার
- পরিধান-বিরোধী এবং কম ঘর্ষণ-প্রতিরোধী আবরণ
উপসংহারে
স্পুটারিং প্রযুক্তির জগৎ বিশাল এবং বৈচিত্র্যময়, যা প্রকৌশলী এবং গবেষকদের পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য অসংখ্য সম্ভাবনা প্রদান করে। নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা অনুসারে সর্বোত্তম পাতলা ফিল্ম বৈশিষ্ট্য অর্জনের জন্য বিভিন্ন ধরণের স্পুটারিং কৌশল এবং তাদের প্রয়োগ সম্পর্কে জ্ঞান অপরিহার্য। সাধারণ ডিসি স্পুটারিং থেকে শুরু করে সুনির্দিষ্ট আয়ন বিম স্পুটারিং পর্যন্ত, প্রতিটি পদ্ধতি অসংখ্য শিল্পে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে, যা অত্যাধুনিক প্রযুক্তির অগ্রগতিতে অবদান রাখে।
স্পুটারিং প্রযুক্তির সর্বশেষ উন্নয়নগুলি বোঝার মাধ্যমে, আমরা আধুনিক শিল্পের ক্রমবর্ধমান চাহিদা মেটাতে পাতলা ফিল্মের শক্তি ব্যবহার করতে পারি। ইলেকট্রনিক্স, অপটোইলেক্ট্রনিক্স বা উন্নত উপকরণ যাই হোক না কেন, স্পুটারিং প্রযুক্তি আগামীকালের প্রযুক্তির নকশা এবং উৎপাদনের পদ্ধতিকে রূপদান করে চলেছে।
পোস্টের সময়: আগস্ট-১৫-২০২৩