Оборудването за вакуумно нанасяне на покрития е вид технология за отлагане на тънки филми във вакуумна среда, която се използва широко в електрониката, оптиката, материалознанието, енергетиката и т.н. Оборудването за вакуумно нанасяне на покрития се състои главно от следните части:
Вакуумна камера: Това е основната част от оборудването за вакуумно покритие, в която се извършват всички процеси на покритие. Вакуумната камера трябва да може да издържи на вакуумната среда и да поддържа добро уплътнение.
Вакуумна помпа: Използва се за извличане на въздух във вакуумната камера, за да се създаде вакуумна среда. Често срещаните вакуумни помпи включват механични помпи и молекулярни помпи.
Източник на изпаряване: Използва се за нагряване и изпаряване на материала на покритието. Източникът на изпаряване може да бъде съпротивително нагряване, нагряване с електронен лъч, лазерно нагряване и т.н.
Рамка за отлагане (държач за субстрат): използва се за поставяне на субстрата, който ще се покрива. Държачът за субстрат може да се завърта или мести, за да се осигури равномерност на покритието.
Система за управление: Използва се за контрол на целия процес на нанасяне на покритие, включително стартиране и спиране на вакуумната помпа, контрол на температурата на източника на изпарение и регулиране на скоростта на отлагане.
Измервателно и мониторингово оборудване: Използва се за наблюдение на ключови параметри в процеса на нанасяне на покритие в реално време, като например степен на вакуум, температура, скорост на отлагане и др.
Система за захранване: за осигуряване на необходимата мощност за оборудването за вакуумно покритие.
Охлаждаща система: използва се за охлаждане на вакуумната камера и други компоненти, генериращи топлина, за да се осигури нормалната работа на оборудването.
Ефективната координация на тези компоненти позволява на оборудването за вакуумно нанасяне на покритие прецизно да контролира дебелината, състава и структурата на филма, за да отговори на различни промишлени и научни нужди.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 27 юли 2024 г.