Абсталяванне для вакуумнага пакрыцця — гэта від тэхналогіі нанясення тонкіх плёнак у вакуумным асяроддзі, які шырока выкарыстоўваецца ў электроніцы, оптыцы, матэрыялазнаўстве, энергетыцы і г.д. Абсталяванне для вакуумнага пакрыцця ў асноўным складаецца з наступных частак:
Вакуумная камера: гэта асноўная частка абсталявання для вакуумнага пакрыцця, у якой выконваюцца ўсе працэсы пакрыцця. Вакуумная камера павінна вытрымліваць вакуумнае асяроддзе і падтрымліваць добрую герметычнасць.
Вакуумны помпа: ён выкарыстоўваецца для адпампоўвання паветра ўнутры вакуумнай камеры для стварэння вакуумнага асяроддзя. Звычайныя вакуумныя помпы ўключаюць механічныя помпы і малекулярныя помпы.
Крыніца выпарэння: выкарыстоўваецца для награвання і выпарэння пакрывальнага матэрыялу. Крыніцай выпарэння можа быць награванне рэзістыўным награваннем, награваннем электронным прамянём, лазерным награваннем і г.д.
Рамка для нанясення пакрыцця (трымальнік падкладкі): выкарыстоўваецца для размяшчэння падкладкі, на якую наносіцца пакрыццё. Трымальнік падкладкі можна паварочваць або перамяшчаць для забеспячэння аднастайнасці пакрыцця.
Сістэма кіравання: выкарыстоўваецца для кіравання ўсім працэсам нанясення пакрыцця, уключаючы запуск і прыпынак вакуумнага помпы, кантроль тэмпературы крыніцы выпарэння і рэгуляванне хуткасці нанясення пакрыцця.
Вымяральнае і маніторынгавае абсталяванне: выкарыстоўваецца для маніторынгу ключавых параметраў працэсу нанясення пакрыцця ў рэжыме рэальнага часу, такіх як ступень вакууму, тэмпература, хуткасць нанясення пакрыцця і г.д.
Сістэма электразабеспячэння: для забеспячэння неабходнай магутнасці для абсталявання для вакуумнага пакрыцця.
Сістэма астуджэння: выкарыстоўваецца для астуджэння вакуумнай камеры і іншых кампанентаў, якія выпрацоўваюць цяпло, каб забяспечыць нармальную працу абсталявання.
Эфектыўная каардынацыя гэтых кампанентаў дазваляе абсталяванню для вакуумнага пакрыцця дакладна кантраляваць таўшчыню, склад і структуру плёнкі для задавальнення розных прамысловых і навуковых патрэб.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 27 ліпеня 2024 г.