Vakuum örtük avadanlığı elektronika, optika, materialşünaslıq, enerji və s. sahələrdə geniş istifadə olunan vakuum mühitində bir növ nazik film çökmə texnologiyasıdır. Vakuum örtük avadanlığı əsasən aşağıdakı hissələrdən ibarətdir:
Vakuum kamerası: Bu, bütün örtük proseslərinin həyata keçirildiyi vakuum örtük avadanlığının əsas hissəsidir. Vakuum kamerası vakuum mühitinə tab gətirməli və yaxşı sızdırmazlığı təmin etməlidir.
Vakuum Pompası: Vakuum mühiti yaratmaq üçün vakuum kamerasının içindəki havanı çıxarmaq üçün istifadə olunur. Ümumi vakuum nasoslarına mexaniki nasoslar və molekulyar nasoslar daxildir.
Buxarlanma mənbəyi: örtük materialını qızdırmaq və buxarlamaq üçün istifadə olunur. Buxarlanma mənbəyi müqavimət isitmə, elektron şüa qızdırma, lazer qızdırma və s. ola bilər.
Çöküntü çərçivəsi (Substrat Holder): örtüləcək substratı yerləşdirmək üçün istifadə olunur. Kaplamanın vahidliyini təmin etmək üçün substrat tutucu fırlana və ya köçürülə bilər.
Nəzarət Sistemi: Vakuum nasosunun işə salınması və dayandırılması, buxarlanma mənbəyinin temperatur nəzarəti və çökmə sürətinin tənzimlənməsi daxil olmaqla, bütün örtük prosesini idarə etmək üçün istifadə olunur.
Ölçmə və monitorinq avadanlığı: Vakuum dərəcəsi, temperatur, çökmə dərəcəsi və s. kimi örtük prosesində əsas parametrləri real vaxt rejimində izləmək üçün istifadə olunur.
Enerji təchizatı sistemi: vakuum örtük avadanlığı üçün tələb olunan enerjini təmin etmək.
Soyutma sistemi: avadanlıqların normal işləməsini təmin etmək üçün vakuum kamerasını və digər istilik yaradan komponentləri soyutmaq üçün istifadə olunur.
Bu komponentlərin effektiv koordinasiyası vakuum örtük avadanlığına müxtəlif sənaye və elmi ehtiyacları ödəmək üçün filmin qalınlığını, tərkibini və strukturunu dəqiq idarə etməyə imkan verir.
- Bu məqalə dərc edilmişdirvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 27 iyul 2024-cü il