معدات طلاء الفراغ هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة في بيئة فراغية، وتُستخدم على نطاق واسع في الإلكترونيات والبصريات وعلوم المواد والطاقة وغيرها. تتكون معدات طلاء الفراغ بشكل رئيسي من الأجزاء التالية:
حجرة التفريغ: هي الجزء الأساسي من معدات طلاء التفريغ، حيث تُجرى جميع عمليات الطلاء. يجب أن تكون حجرة التفريغ قادرة على تحمل بيئة التفريغ والحفاظ على إحكام الإغلاق.
مضخة التفريغ: تُستخدم لسحب الهواء داخل حجرة التفريغ لخلق بيئة تفريغ. من بين مضخات التفريغ الشائعة: المضخات الميكانيكية والمضخات الجزيئية.
مصدر التبخير: يُستخدم لتسخين وتبخير مادة الطلاء. يمكن أن يكون مصدر التبخير التسخين بالمقاومة، أو التسخين بشعاع الإلكترون، أو التسخين بالليزر، وغيرها.
إطار الترسيب (حامل الركيزة): يُستخدم لتثبيت الركيزة المراد طلائها. يمكن تدوير حامل الركيزة أو تحريكه لضمان تجانس الطلاء.
نظام التحكم: يستخدم للتحكم في عملية الطلاء بأكملها، بما في ذلك بدء وإيقاف مضخة التفريغ، والتحكم في درجة حرارة مصدر التبخر، وضبط معدل الترسيب.
معدات القياس والمراقبة: تستخدم لمراقبة المعلمات الرئيسية في عملية الطلاء في الوقت الحقيقي، مثل درجة الفراغ، ودرجة الحرارة، ومعدل الترسيب، وما إلى ذلك.
نظام إمداد الطاقة: لتوفير الطاقة المطلوبة لمعدات الطلاء بالتفريغ.
نظام التبريد: يستخدم لتبريد غرفة التفريغ والمكونات الأخرى المولدة للحرارة لضمان التشغيل العادي للمعدات.
إن التنسيق الفعال بين هذه المكونات يمكّن معدات الطلاء بالتفريغ من التحكم بدقة في سمك وتكوين وبنية الفيلم لتلبية مجموعة متنوعة من الاحتياجات الصناعية والعلمية.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٧ يوليو ٢٠٢٤