የቫኩም መሸፈኛ መሳሪያዎች በኤሌክትሮኒክስ ፣ ኦፕቲክስ ፣ በቁሳቁስ ሳይንስ ፣ በኃይል እና በመሳሰሉት በሰፊው ጥቅም ላይ የሚውሉት በቫኩም አከባቢ ውስጥ ቀጭን የፊልም ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ ዓይነት ነው። የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በዋናነት ከሚከተሉት ክፍሎች የተውጣጡ ናቸው.
የቫኩም ቻምበር: ይህ የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች ዋና አካል ነው, በውስጡም ሁሉም የሽፋን ሂደቶች ይከናወናሉ. የቫኩም ክፍሉ የቫኩም አከባቢን መቋቋም እና ጥሩ ማተምን መጠበቅ አለበት.
የቫኩም ፓምፕ፡- የቫኩም አከባቢን ለመፍጠር በቫኩም ክፍል ውስጥ ያለውን አየር ለማውጣት ይጠቅማል። የተለመዱ የቫኩም ፓምፖች ሜካኒካል ፓምፖች እና ሞለኪውላዊ ፓምፖች ያካትታሉ.
የትነት ምንጭ፡ የሽፋኑን ቁሳቁስ ለማሞቅ እና ለማትነን ያገለግላል። የትነት ምንጭ የመቋቋም ማሞቂያ, የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ, የሌዘር ማሞቂያ እና የመሳሰሉት ሊሆኑ ይችላሉ.
የማስቀመጫ ፍሬም (Substrate ያዥ)፡ የሚቀባውን ንጣፍ ለማስቀመጥ ይጠቅማል። የሽፋኑን ተመሳሳይነት ለማረጋገጥ የንጥረ-ነገር መያዣው ሊሽከረከር ወይም ሊንቀሳቀስ ይችላል.
የቁጥጥር ስርዓት: የቫኩም ፓምፕ መጀመር እና ማቆም, የትነት ምንጭ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የተከማቸ መጠን ማስተካከልን ጨምሮ ሙሉውን የሽፋን ሂደት ለመቆጣጠር ያገለግላል.
የመለኪያ እና የክትትል መሳሪያዎች፡- እንደ የቫኩም ዲግሪ፣ የሙቀት መጠን፣ የማስቀመጫ መጠን፣ ወዘተ የመሳሰሉ በሽፋን ሂደት ውስጥ ያሉትን ቁልፍ መለኪያዎች በቅጽበት ለመከታተል ይጠቅማል።
የኃይል አቅርቦት ስርዓት: ለቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች አስፈላጊውን ኃይል ለማቅረብ.
የማቀዝቀዣ ዘዴ: የመሳሪያውን መደበኛ አሠራር ለማረጋገጥ የቫኩም ክፍልን እና ሌሎች የሙቀት አማቂ ክፍሎችን ለማቀዝቀዝ ያገለግላል.
የእነዚህ ክፍሎች ውጤታማ ቅንጅት የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች የተለያዩ የኢንዱስትሪ እና ሳይንሳዊ ፍላጎቶችን ለማሟላት የፊልሙን ውፍረት, ቅንብር እና መዋቅር በትክክል እንዲቆጣጠሩ ያስችላቸዋል.
- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ
የልጥፍ ሰዓት፡- ጁላይ-27-2024