የመተጣጠፍ ዓይነቶች

በቀጭኑ የፊልም አቀማመጥ መስክ የስፕትተር ቴክኖሎጂ በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ትክክለኛ እና ወጥ የሆነ ቀጭን ፊልሞችን ለማግኘት በሰፊው ጥቅም ላይ የዋለ ዘዴ ሆኗል። የእነዚህ ቴክኖሎጂዎች ሁለገብነት እና አስተማማኝነት አፕሊኬሽኖቻቸውን ያስፋፋሉ, ይህም መሐንዲሶች እና ተመራማሪዎች ቀጭን ፊልሞችን ለተወሰኑ ዓላማዎች እንዲያዘጋጁ ያስችላቸዋል. በዚህ ብሎግ ልኡክ ጽሁፍ፣ ዛሬ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉትን የተለያዩ የስፕቲንግ ቴክኖሎጂ ዓይነቶችን ልዩ ባህሪያቸውን፣ ጥቅሞቻቸውን እና አፕሊኬሽኖቻቸውን በማብራራት በጥልቀት እንመለከታለን።

1. DC sputtering

DC sputtering በጣም መሠረታዊ እና በስፋት ጥቅም ላይ የዋሉ ቀጭን ፊልም የማስቀመጫ ዘዴዎች አንዱ ነው. ሂደቱ ዝቅተኛ ግፊት ባለው የጋዝ አካባቢ ውስጥ የብርሃን ፍሳሽ ለማመንጨት የዲሲ የኃይል ምንጭን መጠቀምን ያካትታል. በፕላዝማ ውስጥ ያሉት አወንታዊ ionዎች የታለመውን ቁሳቁስ በቦምብ ይደበድባሉ ፣ አተሞችን ያፈናቅላሉ እና በመሠረት ላይ ያስቀምጧቸዋል። DC sputtering በቀላልነቱ፣ ወጪ ቆጣቢነቱ እና ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ስስ ፊልሞች በተለያዩ የመስታወት፣ ሴራሚክስ እና ብረቶች ላይ የማስቀመጥ ችሎታ ይታወቃል።

የዲሲ መትረፍ መተግበሪያዎች፡-
- ሴሚኮንዳክተር ማምረት
- የኦፕቲካል ሽፋን
- ቀጭን ፊልም የፀሐይ ሴሎች

2. የሬድዮ ድግግሞሽ እና ምላሽ ሰጪ ስፕትተር

የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) መትፋት በ RF ሃይል የታገዘ የዲሲ መትፋት ልዩነት ነው። በዚህ ዘዴ, የታለመው ቁሳቁስ በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ኃይል በሚመነጩ ionዎች የተሞላ ነው. የ RF መስክ መኖሩ የ ionization ሂደትን ያጠናክራል, ይህም የፊልም ቅንብርን የበለጠ ትክክለኛ ቁጥጥር ያደርጋል. በአንፃሩ ሪአክቲቭ ስፑተርን እንደ ናይትሮጅን ወይም ኦክሲጅን ያሉ ምላሽ ሰጪ ጋዞችን ወደ መተላለፊያው ክፍል ማስተዋወቅን ያካትታል። ይህ እንደ ኦክሳይድ ወይም ናይትራይድ ያሉ ውህዶች ቀጭን ፊልሞች እንዲፈጠሩ ያደርጋል የተሻሻሉ የቁስ ባህሪያት።

የ RF እና Reactive Sputtering መተግበሪያዎች፡-
- ፀረ-ነጸብራቅ ሽፋን
- ሴሚኮንዳክተር ማገጃ
- የጨረር ሞገድ መመሪያዎች

3. ማግኔትሮን መትረፍ

የማግኔትሮን መትፋት ለከፍተኛ ደረጃ ማስቀመጫ ተወዳጅ ምርጫ ነው. ይህ ቴክኖሎጂ የፕላዝማ እፍጋትን ለመጨመር ከታቀደው ወለል አጠገብ ያለውን መግነጢሳዊ መስክ ይጠቀማል፣ ይህም ከፍተኛ ionization ቅልጥፍናን እና በጣም ጥሩ የሆነ ቀጭን ፊልም ማጣበቅን ያስከትላል። ተጨማሪው መግነጢሳዊ መስክ ፕላዝማውን ወደ ዒላማው በቅርበት ይገድባል, ከተለመዱት የመርጨት ዘዴዎች ጋር ሲነጻጸር የግብ ፍጆታን ይቀንሳል. የማግኔትሮን መትፋት ከፍተኛ የማስቀመጫ ደረጃዎችን እና የላቀ የሽፋን ባህሪያትን ያረጋግጣል, ይህም ለትላልቅ ማምረቻዎች ተስማሚ ያደርገዋል.

የማግኔትሮን መትፋት አፕሊኬሽኖች
- ቀጭን ፊልም ትራንዚስተር
- መግነጢሳዊ ማከማቻ ሚዲያ
- በመስታወት እና በብረት ላይ የጌጣጌጥ ሽፋን

4. Ion beam sputtering

Ion beam sputtering (IBS) በ ion beam በመጠቀም የታለሙ ቁሳቁሶችን ለመርጨት ሁለገብ ዘዴ ነው። ትክክለኛ የፊልም ውፍረት ቁጥጥር እና የቁሳቁስ መጥፋትን የሚቀንስ IBS በከፍተኛ ቁጥጥር የሚደረግበት ነው። ይህ ቴክኖሎጂ የ stoichiometrically ትክክለኛ ቅንብርን እና ዝቅተኛ የብክለት ደረጃዎችን ያረጋግጣል. እጅግ በጣም ጥሩ በሆነው የፊልም ተመሳሳይነት እና ሰፊ የዒላማ ቁሳቁሶች ምርጫ ፣ IBS ለስላሳ እና እንከን የለሽ ፊልሞችን ማምረት ይችላል ፣ ይህም ለልዩ መተግበሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል።

የ Ion Beam Sputtering መተግበሪያዎች፡-
- የኤክስሬይ መስታወት
- የጨረር ማጣሪያዎች
- ፀረ-አልባሳት እና ዝቅተኛ-ግጭት ሽፋን

በማጠቃለያው

የስፕቲንግ ቴክኖሎጂ አለም ሰፊ እና የተለያየ ነው፣ ለፊልም መሐንዲሶች እና ተመራማሪዎች ብዙ እድሎችን ይሰጣል። በተለዩ መስፈርቶች መሰረት የተሻሉ ቀጭን የፊልም ባህሪያትን ለማግኘት ስለ የተለያዩ አይነት የስፕቲንግ ቴክኒኮች እና አፕሊኬሽኖቻቸው እውቀት በጣም አስፈላጊ ነው. ከቀላል የዲሲ መትረየስ እስከ ትክክለኛ የ ion beam sputtering እያንዳንዱ ዘዴ በበርካታ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል, ይህም ለቴክኖሎጂ እድገት አስተዋጽኦ ያደርጋል.

የስፕተር ቴክኖሎጂን አዳዲስ ለውጦችን በመረዳት፣ እያደገ የመጣውን የዘመናዊ ኢንዱስትሪ ፍላጎቶችን ለማሟላት የቀጭን ፊልሞችን ኃይል መጠቀም እንችላለን። በኤሌክትሮኒክስ፣ በኦፕቶኤሌክትሮኒክስም ይሁን በላቁ ቁሶች፣ የስፕትተር ቴክኖሎጂ ነገን የምንቀርፅበትን እና የምናመርትበትን መንገድ እየቀረጸ ነው።