Vakuumbedekkingstoerusting is 'n soort dunfilmafsettingstegnologie in 'n vakuumomgewing, wat wyd gebruik word in elektronika, optika, materiaalkunde, energie en so aan. Vakuumbedekkingstoerusting bestaan hoofsaaklik uit die volgende dele:
Vakuumkamer: Dit is die kernonderdeel van die vakuumbedekkingstoerusting, waarin al die bedekkingsprosesse uitgevoer word. Die vakuumkamer moet die vakuumomgewing kan weerstaan en goeie verseëling kan handhaaf.
Vakuumpomp: Dit word gebruik om die lug binne die vakuumkamer te onttrek om 'n vakuumomgewing te skep. Algemene vakuumpompe sluit meganiese pompe en molekulêre pompe in.
Verdampingsbron: Word gebruik om die bedekkingsmateriaal te verhit en te verdamp. Die verdampingsbron kan weerstandsverhitting, elektronstraalverhitting, laserverhitting en so aan wees.
Afsettingsraam (Substraathouer): word gebruik om die substraat wat bedek moet word, te plaas. Die substraathouer kan geroteer of verskuif word om die eenvormigheid van die bedekking te verseker.
Beheerstelsel: Word gebruik om die hele bedekkingsproses te beheer, insluitend die begin en stop van die vakuumpomp, die temperatuurbeheer van die verdampingsbron en die aanpassing van die afsettingstempo.
Meet- en moniteringstoerusting: Word gebruik om die sleutelparameters in die bedekkingsproses intyds te monitor, soos vakuumgraad, temperatuur, afsettingstempo, ens.
Kragtoevoerstelsel: om die benodigde krag vir die vakuumbedekkingstoerusting te verskaf.
Verkoelingstelsel: word gebruik om die vakuumkamer en ander hitteopwekkende komponente af te koel om die normale werking van die toerusting te verseker.
Die effektiewe koördinering van hierdie komponente stel die vakuumbedekkingstoerusting in staat om die dikte, samestelling en struktuur van die film presies te beheer om aan 'n verskeidenheid industriële en wetenskaplike behoeftes te voldoen.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 27 Julie 2024