Àwọn ẹ̀rọ ìdènà ìfọ́mọ́ra, tí a tún mọ̀ sí àwọn ètò ìdènà ìfọ́mọ́ra, jẹ́ àwọn ohun èlò pàtàkì tí a lò nínú ìlànà ìdènà ìfọ́mọ́ra ...
Lilo awọn ẹrọ ifipamọ sputter ti gbooro si pupọ nitori agbara wọn lati ṣe awọn fiimu ti o ni mimọ ga, iṣọkan to dara julọ ati sisanra ti a ṣakoso. Iru awọn fiimu bẹẹ ni a lo jakejado ni awọn microelectronics, awọn opitiki, awọn sẹẹli oorun, awọn media ibi ipamọ oofa ati awọn aaye miiran.
Àwọn ìdàgbàsókè tuntun ní ẹ̀ka ẹ̀rọ ìpamọ́ sputter ti mú kí iṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi àti àwọn ànímọ́ tí ó dára síi. Ìlọsíwájú pàtàkì kan ni ìfikún ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ magnetron, èyí tí ó fúnni ní àwọn ìwọ̀n ìpamọ́ gíga àti dídára fíìmù tí ó dára síi. Ìṣẹ̀dá tuntun yìí gba àwọn ohun èlò onírúurú, títí bí àwọn irin, irin oxides àti semiconductors láàyè.
Ni afikun, awọn ẹrọ ifipamọ sputter ni a ti ni ipese bayi pẹlu awọn eto iṣakoso to ti ni ilọsiwaju ti o rii daju pe iṣakoso deede ti awọn paramita ifipamọ gẹgẹbi titẹ gaasi, iwuwo agbara, akojọpọ afojusun ati iwọn otutu substrate. Awọn ilọsiwaju wọnyi mu iṣẹ ṣiṣe fiimu dara si ati mu ki iṣelọpọ awọn fiimu pẹlu awọn ohun-ini ti a ṣe deede si awọn ohun elo kan pato.
Ni afikun, idagbasoke ti nlọ lọwọ ninu aaye ti imọ-ẹrọ nano tun ṣe anfani pupọ lati awọn ẹrọ idabobo sputter. Awọn oluwadi n lo awọn ẹrọ wọnyi lati ṣẹda awọn nanostructures ati awọn awọ nanostructured pẹlu deede giga pupọ. Awọn ẹrọ idabobo sputter le gbe awọn fiimu tinrin si awọn apẹrẹ ti o nira ati awọn agbegbe nla, eyiti o jẹ ki wọn dara julọ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo nanoscale.
A gbọ́ láìpẹ́ yìí pé ẹgbẹ́ àwọn onímọ̀ sáyẹ́ǹsì láti ilé ìwádìí kan tí a mọ̀ dáadáa ti ṣe àṣeyọrí nínú ṣíṣe ẹ̀rọ ìtọ́jú sputter tuntun kan tí ó lè gbé àwọn fíìmù tín-tín síta pẹ̀lú ìṣedéédé tí kò tíì ṣẹlẹ̀ rí. Ẹ̀rọ tuntun yìí so àwọn algoridimu ìṣàkóso ìgbàlódé pọ̀ mọ́ àti àwòrán magnetron tuntun láti ṣàṣeyọrí ìṣọ̀kan fíìmù àti ìṣàkóso sísanra tó ga jùlọ. Ẹgbẹ́ ìwádìí náà fojú inú wo pé ẹ̀rọ wọn yóò yí ìlànà ìṣelọ́pọ́ àwọn ẹ̀rọ itanna àti àwọn ètò ìpamọ́ agbára padà.
Ṣíṣe àwọn ohun èlò tuntun pẹ̀lú iṣẹ́ tó dára síi jẹ́ ìwákiri àwùjọ onímọ̀ sáyẹ́ǹsì láìdáwọ́dúró. Àwọn ẹ̀rọ ìpamọ́ sputter ti di ohun èlò pàtàkì nínú ìwádìí yìí, wọ́n ń mú kí àwárí àti ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò tuntun pẹ̀lú àwọn ohun èlò àrà ọ̀tọ̀ rọrùn. Àwọn olùwádìí ń lo àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí láti kẹ́kọ̀ọ́ nípa àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè fíìmù, láti kẹ́kọ̀ọ́ àwọn ohun èlò pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí a ṣe àtúnṣe, àti láti ṣàwárí àwọn ohun èlò tuntun tí ó lè ṣe àtúnṣe ọjọ́ iwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-30-2023