O masini fa'aputu sputter, e ta'ua fo'i o sputtering systems, o ni masini fa'apitoa e fa'aaogaina i le faiga o le fa'aputuina o ata manifinifi. E galue i luga o le mataupu faavae o le sputtering, lea e aofia ai le fa'apapāpāina o se mea fa'amoemoe i ni ions po'o ni atoms e maualuga le malosi. O le faiga e fa'ate'a ese ai se vaitafe o atoms mai se mea fa'amoemoe, ona fa'aputu lea i luga o se substrate e fausia ai se ata manifinifi.
Ua matuā fa’alauteleina le fa’aaogaina o masini e fa’aputu ai le sputter ona o lo latou gafatia e gaosia ai ni ata tifaga e matuā mama, tutusa lelei ma mafiafia fa’atonutonuina. O ia ata tifaga e lautele lona fa’aaogaina i microelectronics, optics, solar cells, magnetic storage media ma isi matā’upu.
O atina'e talu ai nei i le matata o masini fa'aputu sputter ua i'u ai i le fa'aleleia atili o le fa'atinoga ma le fa'aleleia atili o uiga. O se alualu i luma mata'ina o le fa'aofiina lea o le tekinolosi magnetron sputtering, lea e mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le fa'aputuina ma fa'aleleia atili ai le lelei o le ata tifaga. O lenei mea fou e mafai ai ona fa'aputuina le tele o meafaitino, e aofia ai u'amea, oxides u'amea ma semiconductors.
E le gata i lea, o masini e fa'aputu ai le sputter ua fa'apipi'iina nei i ni faiga fa'atonutonu fa'apitoa e fa'amautinoa ai le pulea sa'o o fa'asologa o le fa'aputuga e pei o le mamafa o le kesi, le mamafa o le eletise, le fa'atulagaga fa'atatau ma le vevela o le substrate. O nei alualu i luma e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o ata tifaga ma mafai ai ona gaosia ni ata tifaga e fa'atatau i fa'aoga fa'apitoa.
E le gata i lea, o le atinaʻeina pea i le matata o le nanotechnology e matuā aogā foʻi mai masini faʻaputu sputter. O loʻo faʻaaogaina e le au suʻesuʻe nei masini e fatu ai ni nanostructures ma ni nanostructured coatings ma le matuā saʻo lelei. E mafai e masini faʻaputu sputter ona faʻaputu ni ata manifinifi i luga o foliga faigata ma vaega tetele, ma avea ai ma mea lelei mo le tele o faʻaoga nanoscale.
Na lipotia talu ai nei ua manuia le atinaʻeina e se 'au o saienitisi mai se faʻalapotopotoga suʻesuʻe lauiloa se masini fou e faʻaputu ai le sputter e mafai ona faʻaputuina ai ni ata manifinifi ma le saʻo e leʻi mafaufauina. O lenei masini faʻaonaponei e faʻapipiʻi ai algorithms faʻaonaponei ma se mamanu fou o le magnetron e ausia ai le tutusa lelei o ata ma le puleaina o le mafiafia. Ua vaʻaia e le 'au suʻesuʻe o le a suia e lana masini le faagasologa o le gaosiga o masini eletise o le isi tupulaga ma faiga e teu ai le malosi.
O le atinaʻeina o meafaitino fou ma le faʻaleleia atili o le faʻatinoga o se sailiga faifai pea a le vaega faasaienisi. Ua avea masini e faʻaputu ai le sputter ma se meafaigaluega taua tele i lenei suʻesuʻega, e faʻafaigofie ai le mauaina ma le tuʻufaʻatasia o meafaitino fou ma uiga tulaga ese. O loʻo faʻaaogaina e le au suʻesuʻe nei masini e suʻesuʻe ai auala e tuputupu aʻe ai le ata tifaga, suʻesuʻe meafaitino ma uiga faʻapitoa, ma maua ai meafaitino fou e mafai ona faʻatulaga ai le lumanaʻi o tekinolosi.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Oke-30-2023