Igwe nchekwa ihe n'ime oghere, nke a makwaara dịka sistemụ sputtering, bụ ngwa pụrụ iche nke e ji eme ihe n'usoro nchekwa ihe n'ime oghere. Ọ na-arụ ọrụ na ụkpụrụ nke sputtering, nke gụnyere ịtụba ihe mgbaru ọsọ site na iji ion ma ọ bụ atọm nwere ike dị elu. Usoro a na-ewepụta mmiri nke atọm site na ihe mgbaru ọsọ, nke a na-etinye na ihe ndabere iji mepụta ihe mkpuchi dị gịrịgịrị.
Ojiji nke igwe ndoputa sputter amụbaala nke ukwuu n'ihi ikike ha nwere imepụta ihe nkiri dị ọcha nke ukwuu, otu dị mma na ọkpụrụkpụ a na-achịkwa. Ihe nkiri ndị dị otú ahụ nwere ọtụtụ ojiji na microelectronics, optics, sel anyanwụ, ihe nchekwa magnet na mpaghara ndị ọzọ.
Mmepe ọhụrụ n'ọhịa nke igwe nchekwa sputter emeela ka ọrụ dịkwuo mma ma melite àgwà. Otu ọganihu pụtara ìhè bụ itinye teknụzụ sputtering magnetron, nke na-enye ohere maka ọnụego nchekwa dị elu na mma fim. Ihe ọhụrụ a na-enye ohere itinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ọla, oxides metal na semiconductors.
Tinyere nke a, igwe ndị na-etinye sputter ugbu a nwere sistemụ njikwa dị elu nke na-ahụ na ejiri nlezianya na-achịkwa paramita nkwụnye dịka nrụgide gas, njupụta ike, nhazi ihe mgbaru ọsọ na okpomọkụ substrate. Mmepe ndị a na-eme ka arụmọrụ fim ka mma ma na-eme ka mmepụta nke ihe nkiri nwere ihe onwunwe ahaziri maka ngwa ụfọdụ.
Tinyere nke ahụ, mmepe na-aga n'ihu n'ọhịa nke nanotechnology na-eritekwa uru dị ukwuu site na igwe nkwụnye sputter. Ndị nchọpụta na-eji igwe ndị a emepụta nanostructures na nanostructured coatings na oke nkenke. Igwe nkwụnye sputter nwere ike itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'elu ọdịdị dị mgbagwoju anya na nnukwu ebe, na-eme ka ha dị mma maka ọtụtụ ngwa nanoscale.
A kọrọ n'oge na-adịbeghị anya na otu ndị ọkà mmụta sayensị sitere na ụlọ ọrụ nyocha a ma ama emepụtala igwe nchekwa sputter ọhụrụ nke nwere ike itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na nkenke a na-ahụtụbeghị mbụ. Igwe ọgbara ọhụrụ a na-ejikọta algọridim njikwa ọgbara ọhụrụ na imewe magnetron ọhụrụ iji nweta otu ihe nkiri na njikwa ọkpụrụkpụ dị elu. Ndị otu nyocha ahụ na-eche na igwe ha ga-agbanwe usoro mmepụta nke ngwaọrụ eletrọnịkị na sistemụ nchekwa ike ọgbọ na-abịa.
Ịmepụta ihe ọhụrụ nwere ọrụ ka mma bụ ihe na-aga n'ihu nke ndị ọkà mmụta sayensị. Igwe nchekwa ihe n'ime sputter aghọwo ngwá ọrụ dị mkpa na nchọpụta a, na-eme ka nchọpụta na mmepụta nke ihe ọhụrụ nwere ihe pụrụ iche dị mfe. Ndị nchọpụta na-eji igwe ndị a amụ usoro uto fim, na-amụ ihe ndị nwere ihe onwunwe ahaziri ahazi, na-achọpụta ihe ọhụrụ nwere ike ịkpụzi ọdịnihu nke teknụzụ.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Ọktoba-30-2023