Mechini ea ho lahla li-sputter, e tsejoang hape e le litsamaiso tsa ho lahla li-sputter, ke lisebelisoa tse ikhethang haholo tse sebelisoang ts'ebetsong ea ho lahla filimi e tšesaane. E sebetsa ka molao-motheo oa ho lahla li-sputter, o kenyeletsang ho hlasela thepa e reretsoeng ka li-ion kapa liathomo tse nang le matla a mangata. Ts'ebetso ena e ntša molapo oa liathomo ho tsoa thepa e reretsoeng, ebe li kenngoa holim'a substrate ho etsa filimi e tšesaane.
Tšebeliso ea mechini ea ho boloka li-sputter e atolohile haholo ka lebaka la bokhoni ba eona ba ho hlahisa lifilimi tse hloekileng haholo, tse ts'oanang hantle le tse botenya bo laoloang. Lifilimi tse joalo li na le ts'ebeliso e pharaletseng ho li-microelectronics, optics, lisele tsa letsatsi, mecha ea polokelo ea makenete le masimo a mang.
Tsoelo-pele ea morao tjena lefapheng la mechini ea ho betsa li-sputter e hlahisitse ts'ebetso e ntlafetseng le litšobotsi tse ntlafetseng. Tsoelo-pele e hlokomelehang ke ho kenyelletsoa ha theknoloji ea ho betsa li-sputter ea magnetron, e lumellang sekhahla se phahameng sa ho betsa le boleng bo ntlafetseng ba filimi. Tlhahiso ena e lumella ho betsa thepa e fapaneng, ho kenyeletsoa litšepe, li-oxide tsa tšepe le li-semiconductor.
Ho phaella moo, mechine ea ho betsa li-sputter joale e na le litsamaiso tse tsoetseng pele tsa taolo tse netefatsang taolo e nepahetseng ea liparamente tsa ho betsa tse kang khatello ea khase, bongata ba matla, sebopeho sa sepheo le mocheso oa substrate. Tsoelo-pele ena e ntlafatsa ts'ebetso ea filimi 'me e nolofalletsa tlhahiso ea lifilimi tse nang le thepa e etselitsoeng lits'ebetso tse itseng.
Ho phaella moo, ntshetsopele e tswelang pele lefapheng la nanotechnology le yona e rua molemo o moholo ho tswa ho mechine ya ho bea di-sputter. Bafuputsi ba sebedisa mechine ena ho etsa di-nanostructure le di-nanostructure coatings ka ho nepahala ho hoholo. Metjhini ya ho bea di-sputter e kgona ho bea difilimi tse tshesane hodima dibopeho tse rarahaneng le dibakeng tse kgolo, e leng se etsang hore e be tse loketseng bakeng sa mefuta e fapaneng ya di-nanoscale.
Ho sa tsoa tlalehoa hore sehlopha sa bo-rasaense ba tsoang setsing se tsebahalang sa lipatlisiso se atlehile ho hlahisa mochini o mocha oa ho boloka li-sputter o ka behang lifilimi tse tšesaane ka ho nepahala ho sa tloaelehang. Mochini ona oa sejoale-joale o kopanya li-algorithms tsa taolo ea sejoale-joale le moralo o mocha oa magnetron ho fihlela ho tšoana ho phahameng ha filimi le taolo ea botenya. Sehlopha sa lipatlisiso se nahana hore mochini oa sona o tla fetola ts'ebetso ea tlhahiso ea lisebelisoa tsa elektroniki tsa moloko o latelang le litsamaiso tsa polokelo ea matla.
Ho ntshetsa pele thepa e ncha e nang le tshebetso e ntlafetseng ke kgato e sa kgaotseng ya setjhaba sa mahlale. Metjhini ya ho boloka di-sputter e fetohile sesebediswa sa bohlokwa haholo phuputsong ena, e nolofatsa ho sibollwa le ho kopanngwa ha thepa e ntjha e nang le thepa e ikgethang. Bafuputsi ba sebedisa mechine ena ho ithuta mekgwa ya kgolo ya filimi, ho ithuta thepa e nang le thepa e ikgethang, le ho sibolla thepa e ntjha e ka bopang bokamoso ba theknoloji.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mphalane-30-2023