Шүршигч тунадасжуулах машин буюу шүршигч систем нь нимгэн хальсан тунадасжуулах процесст ашиглагддаг өндөр мэргэшсэн тоног төхөөрөмж юм. Энэ нь өндөр энергитэй ион эсвэл атомаар бай материалыг бөмбөгдөхөөс бүрддэг шүршигч тунадасжуулах зарчим дээр ажилладаг. Энэ процесс нь бай материалаас атомын урсгалыг гаргаж, дараа нь суурь дээр тунаж нимгэн хальс үүсгэдэг.
Өндөр цэвэршилттэй, маш сайн жигд, хяналттай зузаантай хальс үйлдвэрлэх чадварын ачаар шүршигч тунадасжуулах машинуудын хэрэглээ эрс өргөжсөн. Ийм хальснууд нь микроэлектроник, оптик, нарны зай, соронзон хадгалах хэрэгсэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
Шүршигч тунадасжуулах машинуудын салбарын сүүлийн үеийн хөгжил нь үйл ажиллагааг сайжруулж, шинж чанарыг сайжруулсан. Магнетрон шүршигч технологийг нэвтрүүлсэн нь мэдэгдэхүйц дэвшил бөгөөд энэ нь тунадасжуулах хурдыг нэмэгдүүлж, хальсны чанарыг сайжруулах боломжийг олгодог. Энэхүү шинэчлэл нь металл, металлын исэл, хагас дамжуулагч зэрэг төрөл бүрийн материалыг тунадасжуулах боломжийг олгодог.
Үүнээс гадна, шүршигч тунадасжуулалтын машинууд нь хийн даралт, чадлын нягтрал, байны найрлага, суурь температур зэрэг тунадасжуулалтын параметрүүдийг нарийн хянах боломжийг олгодог дэвшилтэт хяналтын системээр тоноглогдсон. Эдгээр дэвшил нь хальсны гүйцэтгэлийг сайжруулж, тодорхой хэрэглээнд тохирсон шинж чанартай хальс үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.
Үүнээс гадна, нанотехнологийн салбарын тасралтгүй хөгжил нь шүршигч тунадасжуулах машинуудаас ихээхэн ашиг тус хүртдэг. Судлаачид эдгээр машинуудыг ашиглан маш өндөр нарийвчлалтайгаар нано бүтэц болон нано бүтэцтэй бүрхүүл үүсгэж байна. Шүршигч тунадасжуулах машинууд нь нарийн төвөгтэй хэлбэр, том талбай дээр нимгэн хальс түрхэх чадвартай тул янз бүрийн нано хэмжээний хэрэглээнд тохиромжтой.
Саяхан нэгэн нэр хүндтэй судалгааны байгууллагын эрдэмтдийн баг нимгэн хальсыг урьд өмнө байгаагүй нарийвчлалтайгаар хуримтлуулах боломжтой шинэ шүршигч тунадасжуулах машиныг амжилттай боловсруулсан тухай мэдээлэгдсэн. Энэхүү дэвшилтэт машин нь хамгийн сүүлийн үеийн хяналтын алгоритмууд болон шинэ соронзонгийн загварыг нэгтгэн хальсны жигд байдал болон зузааны хяналтыг дээд зэргээр хангадаг. Судалгааны баг уг машин нь дараагийн үеийн электрон төхөөрөмж болон эрчим хүч хадгалах системийн үйлдвэрлэлийн үйл явцыг хувьсгал болгоно гэж төсөөлж байна.
Сайжруулсан ажиллагаатай шинэ материал боловсруулах нь шинжлэх ухааны нийгэмлэгийн тасралтгүй эрэл хайгуулын ажил юм. Шүршигч тунадасжуулах машинууд нь энэхүү судалгаанд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл болж, өвөрмөц шинж чанартай шинэ материалыг нээх, нэгтгэхэд дөхөм болж байна. Судлаачид эдгээр машинуудыг хальсан ургалтын механизмыг судлах, тусгайлан тохируулсан шинж чанартай материалыг судлах, технологийн ирээдүйг бүрдүүлж чадах шинэ материалыг нээхэд ашиглаж байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 10-р сарын 30