Ny milina fametrahana "sputter deposition", fantatra ihany koa amin'ny hoe rafitra "sputtering", dia fitaovana manokana ampiasaina amin'ny dingana fametrahana "film thin deposition". Miasa amin'ny fitsipiky ny "sputtering" izy io, izay misy ny fandoroana "ion" na atôma mahery vaika amin'ny fitaovana kendrena. Ny dingana dia mamoaka atôma maromaro avy amin'ny fitaovana kendrena, izay avy eo apetraka eo amin'ny substrate mba hamorona sarimihetsika manify.
Niitatra be ny fampiasana milina fametrahana "sputter" noho ny fahafahany mamokatra sarimihetsika madio avo lenta, mitovy tsara ary matevina voafehy. Ireo sarimihetsika ireo dia manana fampiharana midadasika amin'ny microelectronics, optika, sela masoandro, fitaovana fitahirizana andriamby ary sehatra hafa.
Ny fivoarana vao haingana eo amin'ny sehatry ny milina fametrahana "sputter" dia niafara tamin'ny fanatsarana ny fiasa sy ny toetrany. Ny fandrosoana miavaka dia ny fampidirana ny teknolojia "magnetron sputtering", izay ahafahana mampitombo ny tahan'ny fametrahana sy manatsara ny kalitaon'ny sarimihetsika. Ity fanavaozana ity dia ahafahana mametraka fitaovana isan-karazany, anisan'izany ny metaly, ny oksida metaly ary ny semiconductors.
Ankoatra izany, ireo milina fametrahana "sputter deposition" dia misy rafitra fanaraha-maso mandroso izay miantoka ny fanaraha-maso marina ny masontsivana fametrahana toy ny tsindrin'ny entona, ny hakitroky ny herinaratra, ny firafitry ny lasibatra ary ny mari-pana amin'ny substrate. Ireo fandrosoana ireo dia manatsara ny fahombiazan'ny sarimihetsika ary ahafahana mamokatra sarimihetsika manana toetra mifanaraka amin'ny fampiharana manokana.
Ankoatra izany, ny fivoarana mitohy eo amin'ny sehatry ny nanoteknolojia dia mahazo tombony betsaka amin'ny milina fametrahana sputter. Mampiasa ireo milina ireo ny mpikaroka mba hamoronana nanostructures sy nanostructured coatings amin'ny fahamarinan-toerana avo lenta. Afaka mametraka sarimihetsika manify amin'ny endrika sarotra sy faritra midadasika ny milina fametrahana sputter, ka mahatonga azy ireo ho tsara indrindra amin'ny fampiharana isan-karazany amin'ny nanoscale.
Vao haingana no nisy tatitra fa ekipa mpahay siansa avy amin'ny andrim-pikarohana malaza iray no nahomby tamin'ny famolavolana milina fametrahana "sputter" vaovao izay afaka mametraka "films" manify amin'ny fahamarinan-toerana tsy mbola nisy toy izany. Ity milina maoderina ity dia mampiditra algorithm fanaraha-maso maoderina sy endrika magnetron vaovao mba hahazoana fitoviana ambony amin'ny sarimihetsika sy fanaraha-maso ny hateviny. Vinavinan'ny ekipa mpikaroka fa hanova tanteraka ny fizotran'ny famokarana fitaovana elektronika sy rafitra fitahirizana angovo amin'ny taranaka manaraka ny milinany.
Ny fampivoarana fitaovana vaovao misy fiasa nohatsaraina dia fikatsahana tsy an-kijanona ataon'ny vondrom-piarahamonina siantifika. Ny milina fametrahana sputter dia lasa fitaovana tena ilaina amin'ity fikarohana ity, izay manamora ny fahitana sy ny famoronana fitaovana vaovao manana toetra miavaka. Mampiasa ireo milina ireo ny mpikaroka mba handinihana ny mekanisma fitomboan'ny sarimihetsika, handalinana ireo fitaovana manana toetra manokana, ary hahitana fitaovana vaovao izay mety hamolavola ny hoavin'ny teknolojia.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 30 Oktobra 2023