Püskürtmə sistemləri kimi də tanınan püskürtmə çökdürmə maşınları nazik təbəqə çökdürmə prosesində istifadə olunan yüksək ixtisaslaşmış avadanlıqlardır. Bu, hədəf materialın yüksək enerjili ionlar və ya atomlarla bombardman edilməsini əhatə edən püskürtmə prinsipi üzərində işləyir. Proses hədəf materialdan atom axınını atır və sonra nazik təbəqə əmələ gətirmək üçün substrata yerləşdirilir.
Yüksək təmizlik, əla vahidlik və nəzarət edilən qalınlığa malik plyonkalar istehsal etmək qabiliyyətinə görə püskürtmə çökdürmə maşınlarının istifadəsi xeyli genişlənmişdir. Bu cür plyonkalar mikroelektronika, optika, günəş batareyaları, maqnit saxlama mühitləri və digər sahələrdə geniş tətbiqlərə malikdir.
Püskürtmə çökdürmə maşınları sahəsindəki son inkişaflar funksionallığın və təkmilləşdirilmiş xüsusiyyətlərin artmasına səbəb olmuşdur. Daha yüksək çökdürmə sürətinə və film keyfiyyətinin yaxşılaşdırılmasına imkan verən maqnetron püskürtmə texnologiyasının tətbiqi diqqətəlayiq bir irəliləyişdir. Bu yenilik metallar, metal oksidləri və yarımkeçiricilər də daxil olmaqla müxtəlif materialların çökdürülməsinə imkan verir.
Bundan əlavə, püskürtmə ilə çökdürmə maşınları artıq qaz təzyiqi, güc sıxlığı, hədəf tərkibi və substratın temperaturu kimi çökdürmə parametrlərinin dəqiq idarə olunmasını təmin edən qabaqcıl idarəetmə sistemləri ilə təchiz olunmuşdur. Bu irəliləyişlər film performansını artırır və müəyyən tətbiqlərə uyğunlaşdırılmış xüsusiyyətlərə malik filmlərin istehsalına imkan verir.
Bundan əlavə, nanotexnologiya sahəsindəki davamlı inkişaf püskürtmə çökdürmə maşınlarından da böyük fayda əldə edir. Tədqiqatçılar bu maşınlardan son dərəcə yüksək dəqiqliklə nanostrukturlar və nanostrukturlu örtüklər yaratmaq üçün istifadə edirlər. Püskürtmə çökdürmə maşınları mürəkkəb formalar və geniş sahələr üzərində nazik təbəqələr çökdürməyə qadirdir və bu da onları müxtəlif nanomiqyaslı tətbiqlər üçün ideal edir.
Bu yaxınlarda məlum oldu ki, tanınmış bir tədqiqat müəssisəsindən olan bir qrup alim nazik təbəqələri misli görünməmiş dəqiqliklə yerləşdirə bilən yeni bir püskürtmə çökdürmə maşını hazırlayıb. Bu qabaqcıl maşın, üstün təbəqə vahidliyinə və qalınlığına nəzarət etmək üçün ən müasir idarəetmə alqoritmlərini və yeni bir maqnetron dizaynını birləşdirir. Tədqiqat qrupu, maşınının yeni nəsil elektron cihazların və enerji saxlama sistemlərinin istehsal prosesində inqilab edəcəyini düşünür.
Təkmilləşdirilmiş funksionallığa malik yeni materialların hazırlanması elmi ictimaiyyətin amansız bir axtarışıdır. Püskürtmə çökdürmə maşınları bu tədqiqatda əvəzolunmaz bir vasitəyə çevrilib və unikal xüsusiyyətlərə malik yeni materialların kəşfini və sintezini asanlaşdırıb. Tədqiqatçılar bu maşınlardan film böyümə mexanizmlərini öyrənmək, xüsusi xüsusiyyətlərə malik materialları öyrənmək və texnologiyanın gələcəyini formalaşdıra biləcək yeni materialları kəşf etmək üçün istifadə edirlər.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yayımlanma vaxtı: 30 oktyabr 2023